[发明专利]薄膜图案的制造设备和方法

说明书

技术领域

本发明涉及当在分离工艺中将压印模具从基板脱模时能够在压印模具和基板之间形成脱模种子(demolding seed)的薄膜图案制造设备以及薄膜图案制造方法。

背景技术

近来已经引入了多种平板显示设备，其能够克服阴极射线管(CRT)的重量和体积缺陷。这种平板显示设备包括液晶显示器、场发射显示器、等离子体面板和电致发光(EL)显示器。

这种平板显示设备可以由通过包括沉积(涂覆)工艺、曝光工艺、显影工艺和蚀刻工艺的掩膜工艺形成的多个薄膜来配置。然而，掩膜工艺具有因复杂的制造工艺产生的高制造成本的问题。因此，最近进行了使用压印模具(imprinting mold)在构图工艺形成薄膜的研究。

根据这种构图工艺，压印树脂被涂覆在基板上。之后，具有凹槽和突起的压印模具与压印树脂接触。当压印模具的凹槽和突起被反向地转印到压印树脂时，反向转印的压印树脂被在硬化工艺中硬化。从而在基板上形成了期望的薄膜图案。

在此，压印模具与压印树脂接触时施加的压力使得压印模具与基板之间的缝隙变窄。因此，如图1所示，压印树脂6以毛细管的形状被扩展至基板4的端部。在此情况下，压印模具2和基板4之间的脱模种子不能被适当地形成因而压印模具2和基板之间的脱模工艺不能被正确地进行。

发明内容

因此，本发明涉及一种薄膜图案的制造方法和设备。

本发明的目的是提供一种能够在压印模具和基板之间顺利地形成脱模种子的薄膜图案的制造方法和设备。

本发明的额外的优点、目的和特征将在随后的说明中阐述，并且部分将在查看随后的说明之后对本领域技术人员明显或者可以从本发明的实施中学到。本发明的目的和其它优点可以通过书面说明和权利要求书以及所附的附图中具体指出的结构实现和获得。

为了实现这些和其它优点，并根据本发明的目的，如本文举例和广泛描述的，一种薄膜图案的制造方法，包括：在基板的边缘区域之外的其它区域上涂覆压印树脂；通过将压印模具与压印树脂接触在基板上形成薄膜图案；以及将所述压印模具从所述基板脱模。

在本发明的另一方面，一种薄膜图案的制造设备，包括：涂覆部件，配置为将压印树脂涂覆在基板的边缘区域以外的其它区域上；以及压印系统，被配置为通过将压印模具与压印树脂接触在基板上形成薄膜图案所述压印系统被配置为将所述压印模具从所述基板脱模。

根据本发明，通过使用喷射涂覆器，压印树脂被选择性地不涂覆在基板的边缘区域上，或者，涂覆在有源区域上。即，压印树脂不被涂覆在基板的有源区域以外的非有源区域。因此，在基板和压印模具之间执行的脱模工艺中非涂覆区域被用作脱模种子。结果，根据本发明，压印模具可以稳定地被从基板脱模，并且脱模工艺时间可以被因此减少。另外，根据本发明，非涂覆区域被用作脱模种子。结果，压印模具和基板可以以比用于形成现有的脱模种子的力相比相对小的力脱模。因此由施加给模具的力产生的模具形变能够被防止，并且模具使用寿命可以被增强。另外，根据本发明，通过使用喷射涂覆器，无溶剂的用于压印的树脂可以被涂覆成为薄膜图案。因此能够增大基板。

应理解本发明的上述总体描述和随后的详细描述都是示例性和说明性的，意在提供对要求权利的本发明的进一步解释。

附图说明

所附的附图被包括以提供本公开的进一步理解，其被并入并且组成了本申请的一部分，例示本公开的实施方式，与说明书一起用于解释本公开的原理。

在附图中：

图1是例示现有的压印树脂的过度扩展的截面图；

图2是例示根据本发明的薄膜制造设备的框图；

图3是例示图2的涂覆部件的截面图；

图4是例示使用由喷射涂覆器配置的涂覆部件涂覆压印树脂的方法的立体图；

图5A和图5B是例示根据本发明的涂覆在基板的边缘部分之外的其它区域的压印树脂的平面图；

图6是例示选择性地涂覆在基板的有源区域上的压印树脂的平面图；

图7A到图7E是例示根据本发明的薄膜图案的制造方法的截面图；

图8是例示具有根据本发明的薄膜图案的液晶显示板的立体图。

具体实施方式

下面将详细参照本发明的具体实施方式，其示例在所附的附图中例示。在可能的情况下相同附图标记将在附图中用以指代相同或者类似部件。

随后，将参照附图详细描述本发明的示例实施方式。

图2是例示根据本发明的示例实施方式的薄膜图案制造设备的图。