[发明专利]制造超细金属粉末的方法和由其制造的超细金属粉末

权利要求书

1.一种制造超细金属粉末的方法，所述方法包括：

准备其中形成了图案的母模；

通过对所述图案涂布聚合物材料而形成牺牲层；

在所述牺牲层上形成金属层；以及

通过除去所述牺牲层并将所述金属层与所述母模分离而形成单独的超细金属粉末。

2.权利要求1的方法，其中所述分离包括：通过使用溶解所述牺牲层的溶剂而除去所述牺牲层。

3.权利要求2的方法，其中所述分离包括：通过对浸入到所述溶剂中的所述牺牲层施加超声波而除去所述牺牲层。

4.权利要求1的方法，其中所述聚合物材料是乙基纤维素、聚乙烯醇缩丁醛(PVB)或聚乙烯醇(PVA)。

5.权利要求1的方法，其中牺牲层的形成包括：

制备溶解了所述聚合物材料的聚合物溶液；以及

对所述牺牲层涂布所述聚合物溶液。

6.权利要求5的方法，其中所述聚合物材料是乙基纤维素，且所述聚合物溶液的分子量为40,000～200,000。

7.权利要求5的方法，其中所述聚合物材料是聚乙烯醇缩丁醛(PVB)，且所述聚合物溶液的分子量为200,000～400,000。

8.权利要求5的方法，其中通过喷涂法、转移涂布法或接触涂布法进行聚合物材料的涂布。

9.权利要求1的方法，其中通过溅射法、电铸法、热蒸发法或电子束蒸发法进行金属层的形成。

10.权利要求1的方法，其中形成的牺牲层的厚度为0.1～2μm。

11.权利要求1的方法，其中形成的牺牲层的厚度相对于所述超细金属粉末的直径为1％～20％。

12.权利要求1的方法，其中所述超细金属粉末的宽度/厚度之比为10～200。

13.权利要求1的方法，其中所述超细金属粉末为镍(Ni)粉。

14.权利要求1的方法，其中形成的图案具有其中突起和凹槽交替布置的格子形状。

15.一种超细金属粉末，其通过权利要求1所述的制造超细金属粉末的方法制得。