[发明专利]可调射频电路以及制造该电路的方法

说明书

技术领域

本申请涉及一种射频电路，尤其涉及一种可调射频电路以及制造该电路的方法。

背景技术

射频电路广泛应用于移动通信、卫星导航、广播、电视等无线传输领域，许多射频电路的工作频率、输出功率、天线模式和输入阻抗等都需要具有可调功能，以适应不同的应用，目前这个功能主要依靠可调电容来实现，传统的固态变容二极管的电容是随着信号功率变化的，在高频和高功率应用中稳定性较差，同时随着无线传输技术的高速发展，尤其是发展最为迅速的移动通信技术，通信设备的操作频率越来越高，需要支持的各种波段的运作(如3G、GSM/GPRS、局部网络、蓝牙)越来越多样化，加上价格和体积的要求，传统的固态变容二极管的电容早已不能满足射频电路对于可调电容的高线性和高稳定性的要求，而射频微机电器件在高频情况下具有很好的稳定性，使得基于微机电技术的可调射频电路成为无线传输技术中的重要部件。

目前基于微机电技术的可调射频电路主要利用可调电容实现工作频率、输出功率、天线模式和输入阻抗等的调节。该技术利用微机电原理来调节电容器件的物理尺寸，实现对电容量的可变性，其中一种方法是间隙微调电容，该方法通过调节平行板之间的垂直距离实现电容量的调节，另一种方法是基于横向驱动的交叉梳状电容，通过改变电容电极板之间的重叠面积实现电容量的调节。间隙微调电容的局限性在于可调范围小于50％，这是由于电容在平行板电极间的距离改变到某种程度时就变成了非线性，改变重叠面积的方法由于横向驱动的交叉梳状电容是采用体加工，加工方式比传统的表面加工更复杂，并且占用面积较大，在手机芯片等集成电路里的应用具有一定限制。

发明内容

在下文中给出关于本发明的简要概述，以便提供关于本发明的某些方面的基本理解。应当理解，这个概述并不是关于本发明的穷举性概述。它并不是意图确定本发明的关键或重要部分，也不是意图限定本发明的范围。其目的仅仅是以简化的形式给出某些概念，以此作为稍后论述的更详细描述的前序。

本发明的一个主要目的在于提供一种可调范围大、便于加工的可调射频电路。

本发明的另一个主要目的在于提供一种制造上述可调射频电路的方法。

根据本发明的一个方面，一种可调射频电路，包括：

多个串联连接在两节点之间的电感，各电感具有不同的电感值；及

多个对应与各电感并联连接的微机电开关。

根据本发明的一个方面，一种可调射频电路的制造方法，包括：

在承载体上划分开关区和电感区；

在开关区的承载体上形成并固定微机电开关，其中，微机电开关的用于连接电感的金属膜延伸铺设在电感区的承载体上；

在微机电开关上沉积形成电介质层并在电介质层位于电感区的部分上形成过孔；

在过孔中及电感区的电介质层上铺设导电体并对该导电体进行蚀刻形成电感；及

去除电介质层位于开关区的部分并释放微机电开关。

本发明可调射频电路及方法通过多个串联连接的电感以及对应控制各电感的微机电开关实现了输出电感的可调性，可用于无线传输设备以调整设备的工作参数，克服了使用微调电容引起的可调范围小的缺陷，可通过表面加工完成，加工方便、结构简单，由于在射频集成电路中，本身预留有较大的面积用于设置电感元件，因此克服了采用变面积微调电容方式的在占用面积上的局限性。

附图说明

参照下面结合附图对本发明实施例的说明，会更加容易地理解本发明的以上和其它目的、特点和优点。附图中的部件只是为了示出本发明的原理。在附图中，相同的或类似的技术特征或部件将采用相同或类似的附图标记来表示。

图1为本发明实施例的可调射频电路的原理图。

图2为本发明实施例的可调射频电路的一种实现的剖面图。

图3为图2中的微机电开关的结构示意图。

图4A-4D为本发明实施例的可调射频电路在制造阶段的工艺状态图。

图5为本发明实施例的可调射频电路的制造方法的流程图。

具体实施方式

下面参照附图来说明本发明的实施例。在本发明的一个附图或一种实施方式中描述的元素和特征可以与一个或更多个其它附图或实施方式中示出的元素和特征相结合。应当注意，为了清楚的目的，附图和说明中省略了与本发明无关的、本领域普通技术人员已知的部件和处理的表示和描述。