[发明专利]多台多晶硅还原炉生产多晶硅的反应系统及操作方法

权利要求书

1.一种多台多晶硅还原炉生产多晶硅的反应系统，其特征是包含多台多晶硅还原炉和一台换热器；其中多台多晶硅还原炉串联连接，除第一台还原炉外，系统中其余各台还原炉的进料口和与之相邻的上一台还原炉的出料口相连，且在相连的进料口和出料口之间连接有氢气供应管道；系统中换热器的两个进口分别连接进料管和最后一台还原炉的出料口，两个出口分别连接第一台还原炉的进料口和最终尾气排放口。

2.如权利要求1所述的反应系统，其特征是串联的多晶硅还原炉的台数为2～12台。

3.权利要求1多台多晶硅还原炉的反应系统的操作方法，其特征是反应原料三氯氢硅和氢气的混合气体中，三氯氢硅和氢气的摩尔比为3∶1～1∶6，首先与最后一台多晶硅还原炉排出的反应尾气进行换热，达到500～600℃后，从第一台多晶硅还原炉的原料进口开始，顺次流经串联的各台多晶硅还原炉不断反应，然后从最后一台多晶硅还原炉排出，经换热器与原料换热后，以尾气形式离开还原工段。

4.如权利要求3所述的操作方法，其特征是除第一台多晶硅还原炉外，其余各台多晶硅还原炉的进料均为与之相连的上一台多晶硅还原炉排出的500～600℃尾气和补充氢气的混合气体，二者混合的体积流量比为10～60。

5.如权利要求3所述的工艺流程，其特征是各台还原炉的进料流量为1～80m³/h。