[发明专利]检查检验装置的方法和建立检验装置的测量变量的方法

权利要求书

1.一种建立检验装置的照明强度的方法，包括：

将检验板安装在检验装置中；

调整由所述检验装置的照相机获取的拍摄图像的频率分布图的宽度，以避开暗区和亮区；以及

通过将所述频率分布图调整至图的中部附近，来调整所述检验装置的照明强度。

2.根据权利要求1所述的方法，还包括：

将所述频率分布图的宽度调窄。

3.根据权利要求1所述的方法，还包括：

使用具有与所述照明强度的平均值对应的参数的有效指标信息来调整所述检验装置的照明强度。

4.根据权利要求3所述的方法，其中，

所述有效指标信息包括可见度信息。

5.根据权利要求4所述的方法，其中，

使用具有与所述照明强度的平均值对应的参数的有效指标信息来调整所述检验装置的照明强度的步骤包括：

在改变所述检验装置的照明强度的同时，测量可见度信息；以及

用允许有效像素面积与检验区域面积之比超过所测可见度信息中的预先建立的有效值的照明强度来建立所述检验装置的照明强度。

6.根据权利要求5所述的方法，还包括：

在改变所述检验装置的照明强度的同时测量所述可见度信息之后，

使用所述所测可见度信息，利用所述检验装置的照相机预先直观地显示与有效像素对应的区域和不与所述有效像素对应的区域中的至少一个。

7.根据权利要求1所述的方法，其中，

所述检验装置的照明对应于光栅图案照明。

8.根据权利要求1所述的方法，还包括：

在调整由所述检验装置的照相机获取的拍摄图像的频率分布图的宽度以避开所述暗区和所述亮区之前，

用第一颜色标记值与被选暗值相比更小或相等的所述暗区，并且用第二颜色标记值与被选亮值相比更大或相等的所述亮区。

9.一种建立检验装置的照明强度的方法，包括：

将检验板安装在检验装置中；

在改变所述检验装置的照明强度的同时，向所述检验板提供光；

利用所述检验装置的照相机来获取被所述检验板反射的光，并且获取所述检验板的图像数据；

从所获取的所述检验板的图像数据中获取用于建立照明强度的测量数据；以及

基于所述测量数据建立所述检验装置的照明强度。

10.根据权利要求9所述的方法，其中，

用于建立照明强度的所述测量数据包括可见度和灰度级中的至少一个。

11.根据权利要求9所述的方法，其中，

在基于所述测量数据建立所述检验装置的照明强度时，基于可见度和灰度级来建立所述检验装置的照明强度。

12.根据权利要求9所述的方法，其中，

在基于所述测量数据建立所述检验装置的照明强度时，

用使有效像素的数量大于或等于所述检验板的图像数据中的阈值的照明强度来建立所述检验装置的照明强度，在所述有效像素中所述测量数据在预定范围内。

13.根据权利要求9所述的方法，其中，

在基于所述测量数据建立所述检验装置的照明强度时，

用使有效像素的数量大于或等于所述检验板的图像数据中的阈值的照明强度来建立所述检验装置的照明强度，在所述有效像素中可见度和灰度级在预定范围内。

14.一种检查检验装置的方法，包括：

将设定对象安装在检验装置中；

针对所述设定对象，使用测试程序检查所述检验装置的硬件状况，所述硬件状况包括照明的聚焦状况、光栅移动装置的移动状况、照明的均匀性状况和照明的光照度状况中的至少一种状况；以及

向用户显示所检查的所述检验装置的硬件状况。

15.根据权利要求14所述的方法，其中，

所述设定对象具有用于检查照明的聚焦状况的第一区域、用于检查光栅移动装置的移动状况的第二区域、用于检查照明的均匀性状况的第三区域和用于检查照明的光照度状况的第四区域中的至少一个。