[发明专利]一种Sn-Si靶材无效
| 申请号： | 201110098351.7 | 申请日： | 2011-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN102146555A | 公开（公告）日： | 2011-08-10 |
| 发明（设计）人： | 文宏福 | 申请（专利权）人： | 韶关市欧莱高新材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/08;C23C14/06;B22F3/10 |
| 代理公司： | 韶关市雷门专利事务所 44226 | 代理人： | 周胜明 |
| 地址： | 512000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 sn si 靶材 | ||
【权利要求书】：
1.一种Sn-Si靶材，其特征在于：它是一种用于生产氧化物、氮化物和碳化物薄膜的Sn-Si靶材，它的化学组分和重量配比是：Sn为5-95%、Si为95-5%。
2.制备如权利要求1所述的Sn-Si靶材的方法，其特征是：按照上述重量配比称取Sn粉末和Si粉末，将粒度范围为0-1000um的Sn粉末与Si粉末进行混合均匀后，在真空状况下或氮气或氩气或含碳原子的气体中进行烧结，烧结温度为150-600℃，经烧结后制得Si-SiC靶材成品。
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