[发明专利]冷阱及真空排气装置

权利要求书

1.一种冷阱，其具备冷冻机及热连接于该冷冻机并被冷却的冷板，其特征在于，

在所述冷板上形成有粗糙面。

2.如权利要求1所述的冷阱，其特征在于，

通过在所述冷板的基材上进行无光泽镀来形成所述粗糙面。

3.如权利要求1或2所述的冷阱，其特征在于，

通过对所述冷板的表面进行粗糙化来形成所述粗糙面。

4.如权利要求1～3中任意一项所述的冷阱，其特征在于，

在所述冷板的表面中朝向排气对象容积的面上形成有所述粗糙面。

5.如权利要求1～4中任意一项所述的冷阱，其特征在于，

所述粗糙面在具有第1表面粗糙度的面上形成有比该第1表面粗糙度小的第2表面粗糙度。

6.如权利要求5所述的冷阱，其特征在于，

通过机械加工形成所述第1表面粗糙度，通过化学处理形成所述第2表面粗糙度。

7.一种真空排气装置，其具备：真空泵；及冷阱，配置于将排气对象容积连接于该真空泵的排气流路上，使从该排气对象容积通过该排气流路吸入至该真空泵并被排气的气体的至少一部分在表面上冻结来捕捉，其特征在于，

所述冷阱具备：冷板，露出配置于所述排气流路中；及冷冻机，热连接于所述冷板并冷却所述冷板，

并且，在所述冷板上形成有粗糙面。