[发明专利]冷阱及真空排气装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种低温泵、冷阱及真空排气装置。

背景技术

低温泵是通过凝缩或吸附而将气体分子捕捉在冷却至超低温的低温板上来排气的真空泵。低温泵一般为了实现半导体电路制造工艺等所要求的清洁的真空环境而被利用。

例如专利文献1记载有如下低温泵，其在低温泵的除挡板以外应容纳在泵壳体内的部件外面形成除氟系树脂以外的其他树脂的薄膜。

专利文献1：日本特开昭60-8481号公报

在真空工艺中，有向真空室反复工艺气体的供给和停止供给的情况。例如在溅射中典型地以设定流量供给设定时间的工艺气体而在基板上形成薄膜。并且，在喷溅处理结束之后停止工艺气体的供给，进行交换完成处理的基板和新的被处理基板等的附带作业。为了下次的喷溅处理的开始，需将真空室内还原到所希望的真空度。从提高生产率的观点考虑，优选尽量缩短还原所需时间。

发明内容

因此，本发明的目的在于，提供一种能在短时间内将排气对象容积恢复到所希望的真空度的低温泵、冷阱及真空排气装置。

本发明的一种形态的冷阱，具备冷冻机及热连接于该冷冻机并被冷却的冷板。在冷板上形成有粗糙面。

根据该形态，在冷板上具有粗糙面，从而能够提高与凝缩的冰层的粘附性。由此，能够抑制冰层的剥离。抑制由剥离区域的冷却不良引起的该区域的局部升温，进而抑制通过低温捕获现象而吸附在该剥离区域冰层的气体分子的再放出。由此，能够抑制恢复到所希望的真空度所需时间的增大。

本发明的其他形态为真空排气装置。该装置具备：真空泵；及冷阱，配置于将排气对象容积连接于该真空泵的排气流路上，使从该排气对象容积通过该排气流路吸入至该真空泵并被排气的气体的至少一部分在表面冻结来捕捉。所述冷阱具备：冷板，露出配置于所述排气流路中；及冷冻机，热连接于所述冷板并冷却所述冷板。在所述冷板上形成有粗糙面。

发明效果：

根据本发明，能够在短时间内使排气对象容积恢复到所希望的真空度。

附图说明

图1是用于原理性说明冰层在低温板表面上的剥离及其影响的图。

图2是示意地表示本发明的一实施方式所涉及的低温泵的一部分的图。

图3是示意地表示本发明的一实施方式所涉及的排气运转中的百叶窗的截面的放大图。

图4是示意地表示本发明的其他实施例所涉及的排气运转中的百叶窗的截面的放大图。

图5是示意地表示本发明的一实施方式所涉及的真空排气系统的图。

图中：10-低温泵，12-泵容器，14-冷冻机，16-低温板结构体，18-放射屏蔽，20-屏蔽开口，21-第1冷却台，22-第2冷却台，23-百叶窗，24-低温板，26-连接部件，40-百叶窗安装部，41-叶片板，42-粗糙面，43-基材，44-无光泽镀层。

具体实施方式

本发明的一实施方式所涉及的低温泵在放射屏蔽的开口部具备形成有粗糙面的低温板。低温板例如为挡板。粗糙面例如通过在挡板的基材上实施无光泽镀而形成。并且，也可以与无光泽镀一同或代替无光泽镀对挡板表面进行粗糙化来形成粗糙面。粗糙化处理例如可以是喷砂处理。

本申请的发明人发现，在典型的低温泵中，在恢复到停止供给工艺气体时所希望的真空度所需的复原时间随着向泵的气体存储量的增加而变长。并且发现，每当冰层在挡板表面局部剥离时，复原时间阶段性地增加。可认为冰层剥离的原因在于，典型的低温泵的挡板表面的平坦度变高。堆积的冰层向挡板表面的粘附性低，因此，由于随着冰层变厚而变大的内部应力，冰层易从挡板剥落。通过剥离，冰层与挡板的接触面积变小，冰层的温度变高。其结果，通过低温捕获现象而吸附于冰层的工艺气体分子变得容易被再放出。

在典型的低温泵中，在挡板表面实施有光泽镍镀。因此，挡板表面的平坦度较高。在挡板上实施光泽镀是为了降低欲进入低温泵的放射屏蔽内部的辐射热。

与该技术思想不同，本申请的发明人通过在第1段低温板的表面形成粗糙面，提供能够抑制向所希望的真空度的复原时间的增加的低温泵。通过对板表面进行粗糙化，能够提高与冰层的粘附性。冰层通过所谓锚定效果粘附于板表面。因此，冰层变得难以剥离，能够抑制工艺气体分子的再放出。由此，能够抑制向所希望的真空度的复原时间的增加。