[发明专利]一种消间隙精密导向位移装置有效
申请号: | 201110100605.4 | 申请日: | 2011-04-21 |
公开(公告)号: | CN102262905A | 公开(公告)日: | 2011-11-30 |
发明(设计)人: | 任绍恒;王春鸿;刘岩;鲜浩;李新阳;王彩霞;胡诗杰;邵力;黄奎;李梅 | 申请(专利权)人: | 中国科学院光电技术研究所 |
主分类号: | G12B5/00 | 分类号: | G12B5/00 |
代理公司: | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人: | 成金玉;卢纪 |
地址: | 610209 *** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 间隙 精密 导向 位移 装置 | ||
技术领域
本发明涉及一种消间隙精密导向位移装置。
背景技术
目前,光学仪器中常用的直线运动主要是靠导轨的直线位移来完成的。导轨的主要形式有滑动摩擦导轨和滚动摩擦导轨,其作用是对运动件支撑与导向。导向精度高,运动轻便平稳,耐磨性高,承载能力大,消间隙及加工装调方便是对导轨的基本要求。滑动摩擦导轨承导面的加工和检验都比较简单,但最大的缺点是间隙不能调整,磨损后不能用调整的方法补偿,而且对温度的变化比较敏感。而现有的滚动导轨虽然对温度变化的敏感性较低,但对导轨面的加工精度要求很高,并且共需要三根导轨,两根静导轨、一根动导轨,动、静导轨之间的间隙调整起来非常困难。随着科学的发展与现代化的进步,对光学仪器的精度和准确性以及调整工艺提出了更高的要求,例如在光学仪器望远镜系统中的实时调焦,光刻机中高精度定位等。因此,现有的导轨结构形式已经不能满足现在光学仪器的发展步伐。
发明内容
本发明的技术解决问题:克服现有技术的不足,提供一种消间隙精密导向位移装置,有效地消除了丝杆与螺母之间的运动间隙,提高了导轨直线性;此外还具重复定位高,耐磨性高,载能力大的优点。
本发明的技术解决方案:一种消间隙精密导向位移装置,包括消间隙结构和V形圆柱形动导轨结构,消间隙结构包括电机1、电机座3、轴承架5、联轴节6、消间隙板7、丝母环9、丝杆10、轴承压块14、第一推力轴承16和第二推力轴承18;V形圆柱形活动导轨结构包括圆柱形动导轨11、V型定导轨22和两个滑动轨25、26、三点式固定架23、平端紧定螺钉24、24′、24″,钢球29、29′、29″;固定在电机座3上的电机1通过联轴节6与丝杆10连接;轴承架5固定在电机座3上,第一推力轴承16和第二推力轴承18安装在轴承架5的两端,丝杆10安装在第一推力轴承16和第二推力轴承18内圈上;轴承压块14固定在丝杆10上,调整轴承压块14使丝杆10与第一推力轴承16和第二推力轴承18的内圈紧密配合;丝母环9和消间隙板7通过螺纹配合在丝杆10上,并将丝母环9和消间隙板7固紧;丝母环9与圆柱形动导轨11固定在一起;在圆柱形动导轨11的圆周上均布开有三个V形槽a、b、c,下面的一个V形槽a与V型的定导轨22配合,两者之间放有钢球29,采用第一保持架31将钢球29分开;与圆柱形动导轨11上面的两个V型槽配合的是两个滑动轨25、26,在另两个V型槽b、c与两个滑动轨25、26之间放有钢球29′、29″,采用另外两个保持架32、33将钢球29′、29″分开,V型定导轨22和两个滑动轨25、26固定在三点式固定架23上,平端紧定螺钉24′、24″位于两个滑动轨25、26上,调整平端紧定螺钉24、30消除圆柱形动导轨11和定导轨22之间的间隙。
在所述定导轨22的两端装有限位开关37、38,当圆柱形动导轨11运动到两端极限位置时,两端的限位开关37、38发出信号,使电机1停止转动,提高定位精度。
在所述圆柱形动导轨11的前端面装有X向法兰盘27,可作为光学仪器的调焦;在所述圆柱形活动导轨11的上端面装有Y向法兰盘28,作为工件台使用。
在所述轴承架5上端固定有用于防尘的轴承盖15。
在所述电机轴的另一端装有手轮21,一方面便于调试,另一方面可作为一个接口,方便和角编码器相连。
本发明的原理:本发明包含了消间隙结构,用消间隙板将丝杆与丝母环的间隙消除后,用2个推力轴承把消了间隙的丝杆和丝母环固定在轴承架上。轴承架与电机座固定在一起,用联轴节将固定在电机座上的双轴电机与丝杆相联。丝母环用螺钉与圆柱形动导轨固定在一起。在圆柱形动导轨的圆周上均布开有3个V形槽,下面的V形槽与1个V型的定导轨配合,它们之间放有钢球,用保持架将钢球分开。与上面两个V型槽配合的是两个滑动轨,在V型槽与滑动轨之间放有钢球,用保持架将钢球分开,调整滑动轨和定导轨上的平端紧定螺钉,消除圆柱形动导轨和定导轨之间的间隙,使活动导轨运动舒适、平稳、无卡滞现象。圆柱形动导轨将电机与丝杆的转动转变成了导轨的直线运动。另外,在定导轨的两端装有限位开关,当动导轨运动到位后,限位开关发出信号,电机停止转动。将光栅尺接口板、光栅尺读数头、光栅尺安装在固定架上,以提高位移导向装置的定位精度。为了便于调试,在电机的另一端装有手轮。
本发明与现有的技术相比具有以下优点:
(1)本发明加装了消间隙结构,采用消间隙板将丝杆与丝母环的间隙消除后,用2个推力轴承把消了间隙的丝杆和丝母环固定在轴承架上,消除了丝杆与螺母之间的运动间隙,提高了导轨直线性。
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