[发明专利]硅单晶炉摄像头安装支架无效
申请号: | 201110101654.X | 申请日: | 2011-04-22 |
公开(公告)号: | CN102134740A | 公开(公告)日: | 2011-07-27 |
发明(设计)人: | 惠梦君 | 申请(专利权)人: | 无锡市惠德晶体控制设备有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 刘宗杰 |
地址: | 214174 江苏省无锡市惠山*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 硅单晶炉 摄像头 安装 支架 | ||
【权利要求书】:
1.一种硅单晶炉摄像头安装支架,其特征在于:包括设置于观察窗上的立板,所述立板水平面上与硅单晶炉筒径向线平行,且所述立板之上并列设置有若干个摄像头。
2.根据权利要求1所述的硅单晶炉摄像头安装支架;其特征在于:所述摄像头设置为2个,且水平面上镜头的设置与硅单晶炉筒径向线重合。
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