[发明专利]硅单晶炉摄像头安装支架

说明书

技术领域

本发明涉及硅单晶炉摄像头安装结构，尤其是涉及一种硅单晶炉摄像头安装支架。

背景技术

硅单晶炉可以通过摄像头获取晶棒生长过程中固液界面的图像，请参阅图1及图2所示，图1为传统的硅单晶炉摄像头安装结构的示意图，图2为传统的硅单晶炉摄像头安装结构的俯视图，通常一台单晶炉配合观察窗1需要安装第一摄像头10和第二摄像头11，所述观察窗1设置于单晶炉筒的竖直方向之上，第一摄像头10采用长焦镜头，聚焦在液面中心，控制籽晶生长；第二摄像头11聚焦在晶棒外缘，控制晶棒生长，安装时，第一摄像头10和第二摄像头11的中心在水平面上处同一圆周上，且在垂直面上有一定角度差别，这种安装结构主要缺点是需要2个对立安装支架，分别调整，安装复杂，同时摄像头的俯角受观察窗结构限制。

发明内容

本发明的目的在于提供一种硅单晶炉摄像头安装支架，其具有结构简单，安装方便，调整容易以及摄像头的俯角受观察窗尺寸限制小的特点。

本发明的目的是通过以下技术方案来实现：

一种硅单晶炉摄像头安装支架，其包括设置于观察窗上的立板，所述立板水平面上与硅单晶炉筒径向线平行，且所述立板之上并列设置有若干个摄像头。

特别地，所述摄像头设置为2个，且水平面上镜头的设置与硅单晶炉筒径向线重合。

本发明的有益效果为，所述硅单晶炉摄像头安装支架不仅结构简单，易于实现；而且安装方便，调整容易，摄像头的俯角受观察窗尺寸限制小，适用面宽。

附图说明

下面根据附图和实施例对本发明作进一步详细说明。

图1为传统的硅单晶炉摄像头安装结构的示意图，

图2为传统的硅单晶炉摄像头安装结构的俯视图，

图3为本发明硅单晶炉摄像头安装支架的结构示意图，

图4为本发明硅单晶炉摄像头安装支架的俯视图。

具体实施方式

请参照图3及图4所示，图3为本发明硅单晶炉摄像头安装支架的结构示意图，图4为本发明硅单晶炉摄像头安装支架的俯视图。于本实施例中，一种硅单晶炉摄像头安装支架，其包括设置于观察窗1上的立板3，所述观察窗1平行于硅单晶炉筒径向线4，所述立板3水平面上与硅单晶炉筒径向线4平行，且所述立板3之上并列设置有第一摄像头20和第二摄像头21，将第一摄像头20和第二摄像头21在水平面上放在炉筒径向线4上。在垂直面上位置错开，并各自可以调整俯视角。

实际装配时，水平面上将立板3与炉筒径向线4平行，第一摄像头20和第二摄像头21与径向线4重合。然后在垂直面上调制摄像头俯角。

上述硅单晶炉摄像头安装支架不仅结构简单，易于实现；而且安装方便，调整容易，摄像头的俯角受观察窗尺寸限制小，适用面宽。

以上实施例只是阐述了本发明的基本原理和特性，可以随摄像头的设置个数的改变而改变，本发明不受上述事例限制，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还有各种变化和改变，这些变化和改变都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。