[发明专利]一种发光膜、其制备方法和应用

权利要求书

1.一种发光膜，包括氧化锌膜，所述氧化锌膜中掺杂有二价氧化铕和氧化锂，所述二价氧化铕的质量百分含量为0.5-5％，所述氧化锂的质量百分含量为0.1-3％。

2.如权利要求1所述的发光膜，其特征在于，所述二价氧化铕的质量百分含量为1.5-2.5％。

3.如权利要求1所述的发光膜，其特征在于，所述氧化锂的质量百分含量为0.5-1％。

4.如权利要求1所述的发光膜，其特征在于，所述发光膜的厚度为30-300纳米。

5.一种发光膜制备方法，包括如下步骤：

将氧化锌、二价氧化铕及氧化锂混合，得到混合物，所述混合物中二价氧化铕的质量百分含量为0.5-5％，氧化锂的质量百分含量为0.1-3％，将所述混合物烧结后得到溅射靶材；

在基靶间距为50-90毫米、衬底温度为300-600℃、工作气体为氢气与惰性气体的混合气体，气体流量为15-30sccm、压强为0.2-4.5Pa条件下将所述溅射靶材进行溅射处理，得到发光膜前体；

将所述发光膜前体在温度为500-800℃的真空环境中进行退火处理1-3小时，得到发光膜。

6.如权利要求5所述的发光膜制备方法，其特征在于，所述二价氧化铕的质量百分含量为1.5-2.5％；所述氧化锂的质量百分含量为0.5-1％。

7.如权利要求5所述的发光膜制备方法，其特征在于，所述烧结、形成溅射靶材步骤中烧结温度为900-1300℃。

8.如权利要求5所述的发光膜制备方法，其特征在于，所述混合气体中氢气的体积含量为1-15％。

9.如权利要求5所述的发光膜制备方法，其特征在于，所述退火处理步骤中真空度为0.01Pa以上。

10.如权利要求1-4任一项所述的发光膜在阴极射线管、场致发光显示器件、电致发光显示器件中的应用。