[发明专利]电子器件封装及其制造方法无效
申请号: | 201110105949.4 | 申请日: | 2011-04-22 |
公开(公告)号: | CN102237384A | 公开(公告)日: | 2011-11-09 |
发明(设计)人: | 曹永尚 | 申请(专利权)人: | 艾普特佩克股份有限公司 |
主分类号: | H01L27/146 | 分类号: | H01L27/146;H01L31/0203;H01L31/18 |
代理公司: | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人: | 寿宁;张华辉 |
地址: | 韩国忠清北道清原*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 电子器件 封装 及其 制造 方法 | ||
技术领域
本发明涉及一种电子器件封装及其制造方法,更具体而言,涉及一种使得可保护电子器件封装免受污染并可使电子器件牢固地耦合至基板的电子器件封装及其制造方法。
背景技术
光传感器(photo sensor)是用以捕捉物体图像的半导体器件,其广泛用于各种领域中。例如,数码照相机(digital camera)、摄像机(camcorder)及移动电话便可包含光传感器。
此种光传感器在其中心部中包括像素区域(pixel region),并在其周边部中包括端子。像素区域用于感测图像,端子则用于传送或接收在像素处所拍摄的图像的电信号或其它信号、抑或用于供电。在像素区域中堆叠有光电二极管(photo diode)、保护层(passivation layer)、滤色片(color filter)及微透镜(microlens)。光传感器是例如使用芯片级封装(chip scale package,CSP)方法进行封装。在芯片级封装方法中,将光传感器芯片与透明基板(例如玻璃基板)相互粘合在一起并进行封装以便安装于照相机模块上,从而有效地使光传感器封装小型化。
同时,灰尘或湿气可能会被引入光传感器封装中。在这种情况下,灰尘或湿气可能会附着至像素区域而导致所捕捉的图像出现瑕疵。另外,被引入至光传感器封装的湿气可使光传感器芯片的滤色片或微透镜劣化。因此,为防止在进行封装之后引入灰尘或湿气,会对光传感器封装的像素区域进行牢靠地密封。
为此,使用密封环(sealing ring)。此种密封环环绕像素区域,并由例如环氧树脂的树脂形成。然而,由于灰尘或湿气可穿过树脂,因而由树脂形成的密封环可能无法对像素区域进行完全密封。当将光传感器芯片粘合至透明基板时,像素区域被保持处于高的压力。此时,像素区域的高的压力可能会使由树脂形成的密封环爆裂(blown out)。
为解决由树脂形成的密封环的缺陷(例如爆裂),密封环可由例如SnAg的焊料(solder material)形成,并可具有排气孔(air vent),以用于在将焊料粘合至物体时排出空气。为形成排气孔,密封环可具有螺旋状结构,所述螺旋状结构的一端环绕另一端。然而,当密封环具有排气孔时,可能会沿排气孔而引入灰尘或湿气,因此难以完全阻挡灰尘及湿气。另外,在后续所要执行的高温工艺(例如次级底座工艺(sub-mount process))中,密封环的内部压力可能会升高,并且因此,湿气或气体可能会穿过密封环的下侧进行扩散并可能会接触光传感器芯片的滤色片及微透镜。
另外,密封环可由具有低熔点的SnAg形成为闭合环圈(closed loop)形式,但SnAg在例如次级底座工艺的高温工艺中会液化,从而因中空部的内部压力而导致爆裂。另外,可同时形成密封环与多个倒装芯片接合部(flip chip joint)。在这种情况下,密封环形成于微透镜上,而倒装芯片接合部设置于密封环以外的保护层上。因此,当密封环接触透明基板时,微透镜及滤色片的厚度会使倒装芯片接合部与透明基板间隔开。这样一来,由于倒装芯片接合部不完全接触透明基板,因而难以对光传感器芯片供电,从而导致光传感器封装出现电性缺陷。
由此可见,上述现有的电子器件封装及其制造方法在制造方法及使用上,显然仍存在有不便与缺陷,而亟待加以进一步改进。为了解决上述存在的问题,相关厂商莫不费尽心思来谋求解决之道,但长久以来一直未见适用的设计被发展完成,而一般方法及制造方法又没有适切的方法及制造方法能够解决上述问题,此显然是相关业者急欲解决的问题。因此如何能创设一种新的电子器件封装及其制造方法,实属当前重要研发课题之一,亦成为当前业界极需改进的目标。
发明内容
本发明提供一种电子器件封装及其制造方法,所述电子器件封装能防止异物被引入电子器件的密封区域并且包括密封环,其中所述密封区域包括光传感器芯片的像素区域,所述密封环具有闭合环圈形状并耐爆裂。
本发明还提供一种电子器件封装及其制造方法,所述电子器件封装包括呈闭合环圈形式的密封环,以防止引入异物以及爆裂,其中所述密封环具有由密封层与粘合层形成的堆叠结构。
本发明还提供一种电子器件封装及其制造方法,其在提供密封环的区域中移除聚合物层(例如微透镜及滤色片)以在保护层上形成密封环,从而进一步防止引入湿气或异物,并使密封环与倒装芯片接合部具有相同的高度以防止因倒装芯片接合部接触不良而造成电性缺陷。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的