[发明专利]铁基合金表面镀膜方法及由该方法其制得的镀膜件无效
| 申请号： | 201110106351.7 | 申请日： | 2011-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN102758187A | 公开（公告）日： | 2012-10-31 |
| 发明（设计）人： | 张新倍;陈文荣;蒋焕梧;陈正士;王莹莹 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/00;C23C14/06;C23C14/14 |
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| 地址： | 518109 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 合金 表面 镀膜 方法 | ||
1.一种铁基合金表面镀膜方法，包括以下步骤：
提供铁基合金基体；
于基体上溅射CrON层；
于CrON层上溅射铱金属层；
于铱金属层上溅射BN层。
2.如权利要求1所述的铁基合金表面镀膜方法，其特征在于：溅射所述CrON层的步骤采用如下方式实现：采用磁控溅射法，使用铬靶，铬靶的功率为8～12kw，以氩气为溅射气体，氩气流量为100～300sccm，以氮气和氧气为反应气体，氮气的流量为20～100sccm，氧气的流量为50～300sccm，对基体施加偏压为-100～-300V，基体的温度为20～200℃，镀膜时间为3～20min。
3.如权利要求1所述的铁基合金表面镀膜方法，其特征在于：溅射所述铱金属层的步骤采用如下方式实现工艺条件为：采用磁控溅射法，使用铱靶，铱靶的功率为8～12kw，以氩气为溅射气体，氩气流量为100～300sccm，对基体施加偏压为-100～-300V，基体的温度为20～200℃，镀膜时间为10～50min。
4.如权利要求1所述的铁基合金表面镀膜方法，其特征在于：溅射所述BN层的步骤采用如下方式实现工艺条件为：采用磁控溅射法，使用硼靶，硼靶的功率为11～13kw，以氩气为溅射气体，氩气流量为100～300sccm，以氮气为反应气体，氮气的流量为20～100sccm，对基体施加偏压为-100～-300V，基体的温度为20～200℃，镀膜时间为10～50min。
5.如权利要求1所述的铁基合金表面镀膜方法，其特征在于：该铁基合金表面镀膜方法还包括在溅射所述不锈钢层的步骤之前，对基体进行氩气等离子体清洗。
6.如权利要求1所述的铁基合金表面镀膜方法，其特征在于：该基体的材质为刃具钢、模具钢、量具钢及含铬的不锈钢中的一种。
7.一种镀膜件，包括铁基合金基体，其特征在于：该镀膜件还包形成于基体上的CrON层、形成于CrON层上的铱金属层以及形成于铱金属层上的BN层。
8.如权利要求7所述的镀膜件，其特征在于：该CrON层的厚度为20~50nm；该铱金属层的厚度为80~150nm；该BN层的厚度为100～200nm。
9.如权利要求7所述的镀膜件，其特征在于：所述CrON层、铱金属层及BN层均通过磁控溅射形成。
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