[发明专利]铁基合金表面镀膜方法及由该方法其制得的镀膜件无效
| 申请号： | 201110106351.7 | 申请日： | 2011-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN102758187A | 公开（公告）日： | 2012-10-31 |
| 发明（设计）人： | 张新倍;陈文荣;蒋焕梧;陈正士;王莹莹 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/00;C23C14/06;C23C14/14 |
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| 地址： | 518109 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 合金 表面 镀膜 方法 | ||
技术领域
本发明涉及一种铁基合金表面镀膜方法及由该方法制得的镀膜件。
背景技术
铁基合金（比如模具钢）在高温下使用时，表面很容易被氧化，高温形成的不均匀氧化层不仅会降低产品的表面质量，而且铁基合金在重复使用的过程中，形成的氧化皮膜易剥落，暴露的基体在高温下将会继续被腐蚀，降低了铁基合金的使用寿命。
发明内容
有鉴于此，有必要提供一种铁基合金表面镀膜方法，使铁基合金表面具有较好的高温抗氧化性。
另外，还有必要提供一种上述镀膜方法制得的镀膜件。
一种铁基合金表面镀膜方法，包括以下步骤：
提供铁基合金基体；
于基体上溅射CrON层；
于CrON层上溅射铱金属层；
于铱金属层上溅射BN层。
一种镀膜件，包括铁基合金基体，其特征在于：该镀膜件还包形成于基体上的CrON层、形成于CrON层上的铱金属层以及形成形成于铱金属层上的BN层。
本发明镀膜件表面的CrON层具有很高的熔点及很好的致密性，CrON薄膜不仅能有效地阻止氧的扩散，而且能够阻止Nb、Ti、Al、Si、Cr等较大原子半径的原子的扩散，对基体可以起到很好的保护效果。所述铱金属层具有很好的高温稳定性，能够在1600℃以上的空气中仍具有很好的机械性能，在铱金属层表面再镀覆一层具有较好的润滑性的BN层，当镀膜件用于模具时，可以提高模具表面的流动性，易于脱模。
附图说明
图1为本发明较佳实施例的镀膜件的剖视示意图。
图2为本发明较佳实施例的铁基合金表面镀膜方法中所用溅射设备的示意图。
主要元件符号说明
如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本发明。
具体实施方式
请结合参阅图1及图2，本发明一较佳实施方式的铁基合金表面镀膜方法包括如下步骤：
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