[发明专利]密封方法及其装置

权利要求书

1.一种密封方法，使所涂敷的密封材料硬化，将上下一对基板贴合，其特征在于，通过如下工序贴合上基板和下基板，得到单元结构体：

将下基板搬入到密封装置内的载置台上；

将上基板搬入到所述密封装置内的所述下基板上；

对在所述上基板的上方配设的紫外线透过片材上所形成的透明电极通电，产生静电，由此，对所述上基板进行静电夹紧；

在利用所述紫外线透过片材将所述上基板向下基板按压的状态下照射紫外线，使预先涂敷的密封材料硬化。

2.如权利要求1所述的密封方法，其特征在于，

上下基板的至少一个的原材料是透明玻璃或者透明合成树脂。

3.如权利要求1所述的密封方法，其特征在于，

在成为图像显示面的基板的表面预先贴设两面凸出的片材。

4.一种密封装置，其特征在于，具有：

空室壳体，在上表面形成有开口部并且具有吸排气口，并且，在内部能够升降地设置载置台和下基板的支撑杆；

紫外线透过片材，覆盖所述空室壳体的开口部并且具有柔软性以及透光性，并且，形成有面向所述开口部的透明电极；

紫外线透过掩模支撑框，外形为与所述空室壳体大致一致的形状并具有吸排气口，并且，将紫外线透过掩模容纳在内部，并且载置在所述紫外线透过片材上；

可动密封盘，覆盖所述紫外线透过掩模支撑框的上表面的开口部；以及

光源部，对在所述可动密封盘的上方配置的光硬化型的密封材料照射紫外线，

在所述空室壳体上经由紫外线透过片材配置紫外线透过掩模支撑框以及可动密封盘时，将所述紫外线透过片材作为边界的下部的空室壳体内成为能够减压的第一腔室，另一方面，将所述紫外线透过片材作为边界的上部的紫外线透过掩模支撑框以及可动密封盘所包围的内部成为能够减压的第二腔室，当上基板搬入到所述空室壳体内时，对所述紫外线透过片材的透明电极通电，产生静电，对所述上基板进行静电夹紧。

5.如权利要求4所述的密封装置，其特征在于，

在载置台的侧部设置有用于进行上基板和下基板的对准调整的对准照相机。