[发明专利]新型的硅片甩干机内筒结构无效
| 申请号： | 201110111022.1 | 申请日： | 2011-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN102226641A | 公开（公告）日： | 2011-10-26 |
| 发明（设计）人： | 陈世强;顾正初 | 申请（专利权）人： | 无锡市奥曼特科技有限公司 |
| 主分类号： | F26B25/18 | 分类号： | F26B25/18 |
| 代理公司： | 无锡盛阳专利商标事务所(普通合伙) 32227 | 代理人： | 顾吉云 |
| 地址： | 214024 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 新型 硅片 甩干机内筒 结构 | ||
【权利要求书】：
1.新型的硅片甩干机内筒结构，其包括底板和硅片盒放置夹具，其特征在于：所述硅片盒放置夹具沿所述底板周向安装于所述底板上，相邻两个所述硅片盒放置夹具之间通过筋板连接。
2.根据权利要求1所述的新型的硅片甩干机内筒结构，其特征在于：所述硅片盒放置夹具包括两块底面板、两块侧面板以及两组侧挡杆与下挡杆，所述两块底面板与两块侧面板之间相互扣接，所述两块底面板上开有卡孔，所述两组侧挡杆与下挡杆分别卡接入所述底面板的相对应的所述卡孔内。
3.根据权利要求1或2所述的新型的硅片甩干机内筒结构，其特征在于：所述硅片盒放置夹具底部直接焊接安装于所述底板上。
4.根据权利要求3所述的新型的硅片甩干机内筒结构，其特征在于：所述硅片盒放置夹具沿所述底板周向均布。
5.根据权利要求3所述的新型的硅片甩干机内筒结构，其特征在于：所述筋板包括内侧筋板和外侧筋板。
6.根据权利要求3所述的新型的硅片甩干机内筒结构，其特征在于：所述硅片盒放置夹具按照设备工位要求设置四个、六个或八个。
7.根据权利要求2所述的新型的硅片甩干机内筒结构，其特征在于：所述硅片盒放置夹具的两块侧面板上均布有排水孔。
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