[发明专利]新型的硅片甩干机内筒结构

说明书

技术领域

本发明涉及硅片加工技术装置领域，具体为新型的硅片甩干机内筒结构。

背景技术

硅片旋转冲洗甩干是专门用于太阳能电池片和半导体硅片的生产制造过程中对湿法腐蚀清洗后的硅片进行干燥和洁净化处理的一道重要工序，以往的甩干机内筒结构其包括硅片放置装置（见图1）和硅片盒放置夹具（见图2），安装时需要将硅片盒放置夹具卡装入硅片放置装置的卡槽内，其安装不便；并且，以往的硅片放置装置（见图1）由上板12、中间板13、底板14、前挡杆15、中间挡杆16和后挡杆17组成，其结构复杂，安装加工不便；另外，以往硅片盒放置夹具（见图2）的侧板1上开有两个主排水孔18，其开孔面积大，使得侧板强度低，导致整个硅片旋转冲洗甩干装置整体强度的降低。

发明内容

针对上述问题，本发明提供了新型的硅片甩干机内筒结构，其结构简单，安装方便。

其技术方案是这样的，其包括底板和硅片盒放置夹具，其特征在于：所述硅片盒放置夹具沿所述底板周向安装于所述底板上，相邻两个所述硅片盒放置夹具之间通过筋板连接。

其进一步特征在于：

所述硅片盒放置夹具包括两块底面板、两块侧面板以及两组侧挡杆与下挡杆，所述两块底面板与两块侧面板之间相互扣接，所述两块底面板上开有卡孔，所述两组侧挡杆与下挡杆分别卡接入所述底面板的相对应的所述卡孔内；

所述硅片盒放置夹具底部直接焊接安装于所述底板上；所述硅片盒放置夹具沿所述底板周向均布；所述筋板包括内侧筋板和外侧筋板；所述硅片盒放置夹具按照设备工位要求设置四个、六个或八个。

其更进一步特征在于：所述硅片盒放置夹具的两块侧面板上均布有排水孔。

与以往的硅片甩干机内筒结构相比，本发明的有益效果在于：其将硅片盒放置夹具直接安装于底板上，相邻的硅片盒放置夹具之间通过筋板连接，其结构简单，安装方便，保证了整体的硅片甩干机内筒结构较高的强度；且所述硅片盒放置夹具沿所述底板周向均布以及硅片盒放置夹具侧面板上均布有排水孔，进一步保证了硅片甩干机内筒结构较高的强度。

附图说明

图1为以往的硅片甩干机内筒结构的硅片放置装置结构示意图；

图2为以往的硅片甩干机内筒结构的硅片盒放置夹具结构示意图；

图3为本发明的硅片甩干机内筒结构示意图；

图4为本发明的硅片甩干机内筒结构中硅片盒放置夹具结构示意图。

具体实施方式

见图3，本发明包括底板9和硅片盒放置夹具10，硅片盒放置夹具10沿底板9周向安装于底板9上，相邻两个硅片盒放置夹具10之间通过筋板连接。硅片盒放置夹具10底部焊接安装于底板9上；硅片盒放置夹具10沿底板9周向均布；筋板包括内侧筋板8和外侧筋板7；硅片盒放置夹具10按照设备工位要求设置四个、六个或八个，图3中的硅片盒放置夹具10设置有八个。

见图4，硅片盒放置夹具10包括两块底面板2和6、两块侧面板1、5以及两组侧挡杆3与下挡杆4，两块底面板2、6与两块侧面板1、5之间相互扣接，两块底面板2、6上开有卡孔，两组侧挡杆3与下挡杆4分别卡接入底面板2、6的相对应的卡孔内，两块侧面板1、5上均布有排水孔11。