[发明专利]一种金刚线切割硅片的清洗方法

权利要求书

1.一种金刚线切割硅片的清洗方法，其特征是：金刚线切割的硅片首先经过脱胶粗洗处理，然后进行精洗，

硅片的脱胶粗洗处理经过多道清洗步骤，分别是：

1)在30～50℃水中清洗；

2)在碱性清洗剂中清洗，碱性清洗剂的pH＝9～10，温度30～50℃；

3)在30～50℃水中清洗；

4)在50～70℃乳酸中清洗；

5)在30～50℃水中通过清洗；

6)在常温水中清洗；

精洗工艺共经过多道清洗步骤和烘干处理，分别是：

1)在碱性清洗剂中清洗，碱性清洗剂的pH＝9～10，温度70～90℃，该清洗步骤，配制1～3道；

2)在40～60℃水中清洗，该清洗步骤，配制1～3道；

3)在60～80℃水中清洗，该清洗步骤，配制1～3道；

4)硅片烘干，该烘干步骤，配制1～3道。

2.根据权利要求1所述的一种金刚线切割硅片的清洗方法，其特征是：具体步骤如下

(一)、金刚线切割的硅片进行脱胶粗洗工艺，粗洗工艺经过6个水槽清洗，步骤如下：

1.在30～50℃水中通过摇动、喷水和超声波清洗；

2.在碱性清洗剂中通过摇动、喷水和超声波清洗，碱性清洗剂的pH＝9～10，温度30～50℃；

3.在30～50℃水中通过摇动、喷水和超声波清洗；

4.在乳酸中通过摇动、喷水清洗，乳酸的温度为60℃；

5.在40℃水中通过摇动、喷水清洗；

6.在常温水中摇动清洗；

(二)、经过脱胶后的硅片进行精洗工艺，精洗工艺共经过7个水槽清洗和两步烘干处理，步骤如下：

1.在碱性清洗剂中通过摇动、喷水和超声波清洗，碱性清洗剂的pH＝9～10，温度70～90℃；

2.在碱性清洗剂中通过摇动和超声波清洗，碱性清洗剂的pH＝9～10，温度70～90℃；

3.在40～60℃水中通过摇动、喷水和超声波清洗；

4.在40～60℃水中通过摇动、喷水和超声波清洗；

5.在60～80℃纯水中通过摇动、喷水和超声波清洗；

6.在60～80℃纯水中通过摇动、喷水和超声波清洗；

7.在60～80℃纯水中通过摇动、喷水和超声波清洗；

8.在100℃温度下摇动烘干；

9.在150℃温度下摇动烘干。

3.根据权利要求2所述的一种金刚线切割硅片的清洗方法，其特征是：粗洗工艺的各步骤处理时间各800秒，精洗工艺的各步骤处理时间各300秒。