[发明专利]片盒定位机构和具有该片盒定位机构的腔室装置

说明书

技术领域

本发明涉及半导体制造领域，尤其涉及片盒定位机构和具有该片盒定位机构的腔室装置。

背景技术

片盒(Cassette)是一种可以同时容纳多个晶片或托盘的盒形装置。在高度自动化的LED刻蚀机上，采用片盒装载晶片并配合片盒升降机构和真空机械手取/放晶片来实现晶片的全自动化装/卸操作。

现有的LED刻蚀设备上，片盒定位机构通常采用销-孔配合定位。然而现有的片盒定位机构存在以下问题。定位配合的可观察性差，导致操作者在实际安装片盒时几乎只能凭借感觉去对正，安装麻烦，费时费力。其次，销-孔配合的对正要求高、费力。每次安装都需要同时对正多对销-孔，再加上观察困难，因此在安装时，操作者必需伸长手臂水平握持片盒并保持较长时间的才能完成安装，由于装满托盘的片盒较重(8～9kg)，安装起来既费力又难以操作。

此外，安装中容易造成震动。在实际使用中，为了省力，操作者通常会把片盒倾斜先对正一处销-孔，然后慢慢旋转片盒去对正另一处销-孔。在这个过程中由于看不到销-孔，操作者无法察觉销-孔的对正情况，因此经常导致销-孔对正时片盒失控下落撞击片盒安装板，这种撞击震动极易引发托盘上的衬底发生碎裂等危险，而且也会导致托盘滑动偏离正确位置。

发明内容

本发明旨在至少解决上述技术问题之一。

为此，本发明的一个目的在于提出一种具有可观察性好、结构简单、易于定位、安装省力的片盒定位机构。

本发明的另一个目的在于提出一种腔室装置。

为了实现上述目的，根据本发明第一方面实施例的片盒定位机构，包括：片盒底板，所述片盒底板位于片盒的底部，所述片盒底板的前侧间隔地设有第一和第二开口槽；和片盒安装板，所述片盒安装板上设有配合在所述第一开口槽内的第一定位销轴和配合在所述第二开口槽内的第二定位销轴，所述片盒安装板上还设有用于定位所述片盒底板后侧的第三定位结构。

根据本发明实施例的片盒定位机构，由于将起主要定位作用的第一和第二定位销轴以及第一和第二开口槽分别设置片盒安装板和片盒底板的前侧，即便片盒内装满托盘也能保证操作者观察到第一和第二定位销轴与第一和第二开口槽的配合状态，因此定位配合的可观察性好、便于操作。此外，采用第一和第二定位销轴分别与第一和第二开口槽配合的方式进行定位，可以从第一和第二定位销轴的侧面或从上向下使其配合进第一和第二开口槽中，操作灵活，且由于观察方便，因此安装起来方便快捷。并且，第一和第二定位销轴与第一和第二开口槽的配合形式允许从第一和第二定位销轴的侧面将第一和第二定位销轴分别套入第一和第二开口槽内，这就使得操作者可以先把片盒靠在第一和第二定位销轴后侧的片盒安装板上，然后向前拉动片盒从而将第一和第二定位销轴分别套入第一和第二开口槽中，这个过程中不需要用手臂承担片盒的重量，节省了操作者的体力，从而使安装过程变得轻松容易。而且，在使用中，操作者可以根据观察到的定位配合情况而实时调节片盒位置，能够精细地控制片盒的状态，从而可以避免出现片盒因失控而碰撞片盒安装板的现象，从而能够确保托盘的准确定位的同时保证托盘上的衬底的安全。

另外，根据本发明上述实施例的片盒定位机构还可以具有如下附加的技术特征：

根据本发明的一些实施例，所述第三定位结构包括定位块，所述定位块连接在所述片盒安装板的后侧面上用于定位所述片盒底板的后侧。

可选地，所述定位块的顶表面与所述定位块的前侧面之间设有第一倒角以限定出从所述定位块的顶表面向前向下倾斜的第一导引面。

进一步可选地，所述片盒底板的后侧面与所述片盒底板的底面之间设有第二倒角以限定出从所述片盒底板的后侧面向前向下倾斜的且与所述第一导引面相配合的第二导引面。

优选地，所述第一和第二导引面的倾斜角度为45度。

可选地，所述定位块为长条状的长方体块，所述定位块的前侧面在所述定位块的长度方向上的两端分别设有第一和第二定位凸起。

根据本发明的另一些实施例，所述第三定位结构包括：第三开口槽，所述第三开口槽设在所述片盒底板的后侧面上；和第三定位销轴，所述第三定位销轴设在所述片盒安装板上且配合在所述第三开口槽内。

可选地，所述第一开口槽和第二开口槽均为U形。

进一步可选地，所述第一开口槽和第二开口槽均具有喇叭状开口。

根据本发明的一些实施例，所述第二开口槽的宽度大于所述第一开口槽的宽度，所述第一定位销轴与所述第二定位销轴的直径相同。