[发明专利]基板温度管控系统及方法

说明书

技术领域

本发明涉及薄膜晶体管液晶显示器(Thin Film Transistor Liquid Crystal Display，TFT-LCD)制备技术领域，尤其涉及一种温度管控系统及方法。

背景技术

TFT-LCD制造技术中，聚酰亚胺(Polyimide，PI)膜是由取向膜印刷机(PI Coater)涂布在TFT和彩色滤光片(Color Filter，CF)基板上的。进行涂布之前如果基板表面温度不均，在涂布时会较容易发生涂布不良(Mura)。所以对基板表面温度的分布情况进行检知并实时调整非常必要。现有系统对于清洗后的基板温度分布状况，均不能很好地进行管理和调节。

发明内容

(一)要解决的技术问题

本发明要解决的技术问题是：提供一种基板温度管控系统及方法，以在进行基板涂布前对基板温度分布状况进行管理和调节。

(二)技术方案

为解决上述问题，本发明提供了一种基板温度管控系统，该系统包括：传送装置，用于传送待处理基板；检测装置，用于检测所述待处理基板的表面温度分布状况，并将检测到的温度分布数据发送至控制装置；调节装置，在所述控制装置的控制下对所述待处理基板进行实时冷却处理；控制装置，接收所述温度分布数据，根据所述温度分布数据控制并监控所述调节装置对所述待处理基板进行实时冷却处理。

其中，所述传送装置由多个彼此平行放置的传送滚轮组成。

其中，所述检测装置为红外测温仪，所述红外测温仪与所述控制装置相连。

其中，所述调节装置包括多个冷却空气管道，所述冷却空气管道与冷气供应管连接，且所述冷却空气管道上分布有多个冷却空气喷头，所述冷气供应管上设置有电磁阀，所述电磁阀通过继电器与所述控制装置相连。

其中，所述控制装置包括：数据收集模块，用于接收并处理所述检测装置发送的所述温度分布数据，并将处理后的温度分布数据发送至控制模块；控制模块，与所述数据收集模块相连，用于根据所述处理后的温度分布数据实时控制所述继电器的通断，从而控制所述电磁阀的开闭。

其中，所述控制装置还包括：流量计，与所述控制模块以及所述冷气供应管相连，用于根据所述控制模块发送的流量控制命令调节通过所述冷气供应管的冷气流量，并将通过所述冷气供应管的实际的冷气流量数据发送至所述控制模块。

其中，所述控制装置还包括：触摸屏，与所述控制模块相连，用于设置所述待处理基板表面不同区域的温度之间的目标差值，并将所述目标差值发送至所述控制模块，还用于显示所述控制模块发送的温度分布数据以及冷气流量数据；所述控制模块还用于接收所述触摸屏发送的所述目标差值，根据所述目标差值生成并向所述流量计发送流量控制命令。

其中，该系统还包括：工程数据管理模块，与所述控制模块相连，用于收集所述控制模块中的所述温度分布数据以及冷却气流量数据，对处理过程进行远程实时管理及监控。

本发明还提供了一种基于上述基板温度管控系统的基板温度管控方法，其特征在于，该方法：

通过检测装置检测由传送装置传送的待处理基板的表面温度分布状况，并将检测到的温度分布数据发送至控制装置；

所述控制装置根据所述温度分布数据控制并监控所述调节装置对所述待处理基板进行实时冷却处理。

其中，其特征在于，当温度分布数据表明待处理基板表面温度分布不均匀时，控制装置实时导通继电器，从而开启冷却供应管上的电磁阀，向冷却空气管道供应冷却空气，以对待处理基板进行冷却处理。

其中，控制装置根据设定的目标差值，生成并向流量计发送流量控制命令，以控制通过冷气供应管的冷气流量，并将通过该冷气供应管的实际冷气流量数据发送至触摸屏及工程数据管理模块。

(三)有益效果

本发明的系统及方法用于在涂布PI膜前检知基板表面温度是否均匀，并根据基板表面温度分布状况实时调整冷却空气流量，改善了涂布前基板表面温度分布的均匀性，降低了涂布时因基板表面温度分布不均而导致的涂布不良。

附图说明

图1为本发明一种实施方式的基板温度管控系统结构框图；

图2为本发明一种实施方式的基板温度管控系统的构成示意图；

其中，1、基板传输方向；2、冷却空气管道；3、冷却空气喷嘴；4、红外测温仪；5、数据收集模块；6、控制模块；7、流量计；8、电磁阀；9、电磁阀；10、工程数据管理系统；11、工厂动力端；12、基板；13、传送滚轮；14、冷气供应管。

具体实施方式