[发明专利]用于不锈载体盘的抛光液及使用方法

权利要求书

1.一种用于不锈载体盘的抛光液，其特征在于，它包括以下成分：

    采用32nm左右的均匀性较强的二氧化硅溶胶作为主要原料

配入带有羟基和双胺基的有机碱使之溶液的PH值控制在10~12之间；

加入1%-2%的表面活性剂；

配制成的抛光液浓度控制在20%-23%；并保持工作温度在30-40度左右。

2.根据权利要求1所述的一种用于不锈载体盘的抛光液，其特征在于：在上述配方中加微量的洗洁精。

3.一种使用上述权利要求1的抛光液的方法， 其特征在于：首先将抛光液进行预热，预热至30摄氏度；经过设备注入至磨光装置中；磨削过程中监测抛光液的温度；当抛光液温度大于40度时，通过冷却设备进行冷却使其回到30-40摄氏度。

4.根据权利要求3所述的一种抛光液的使用方法，其特征在于：当抛光液表面出现悬浮物时，加入0.25%-1%的洗洁精。