[发明专利]基于Etalon的激光波长/频率的测量方法、波长计及使用方法

权利要求书

1.基于Etalon的激光的波长/频率的测量方法，选用具有两个平行的反射表面的Etalon，其主要参数为振幅反射系数r、折射率n、厚度l和入射角度θ，其特征在于：

所述Etalon参数振幅反射系数r保持不变，n、l和θ中的1个或2个参数保持固定、而改变另外2个或1个参数，得到具有N种不同的参数组的Etalon，N为4～6的整数，在测量频率范围内，使用标准可调谐激光器以一定步长Δf扫描上述N种Etalon，测量不同频率激光在不同的参数组Etalon上的传输效率，得到N条不同传输效率的频率响应曲线，同时建立相应的传输效率数据校准表，再用上述的N种参数组的Etalon测定待测的输入激光的传输效率，得到待测激光的N组传输效率数据值，通过与上述传输效率数据校准表的对比，计算得到相应的待测输入激光的波长。

2.根据权利要求1所述的基于Etalon的激光的波长/频率的测量方法，其特征在于具体步骤如下：

I、确定Etalon测定系统

选用N种不同参数组的Etalon，所述参数组中振幅反射系数r保持不变，折射率n、表面间距l和入射角度θ中的1个或2个参数保持固定、另外2个或1个参数改变；

II、建立传输效率的频率响应曲线并生成传输效率数据校准表

采用步骤I中的测定系统，在整个测试频率范围内、使用标准可调谐激光器以步长Δf进行扫描，0.2GHz≤Δf≤1GHz，获得N种不同状态的Etalon不同频率激光的传输效率，并据此生成整个测试频率范围内的对应不同参数组的传输效率数据校准表；

III、测量

某个连续或脉冲激光输入上述Etalon测定系统，精确测量该连续或脉冲激光的N个传输效率数据，测量精度至少达到0.0005；

IV、精确确定所测激光的波长

将步骤III所测得的传输效率数据与步骤II的传输效率数据校准表对应数据进行比较，即可以计算所测激光波长。

3.根据权利要求2所述的基于Etalon的激光的波长/频率的测量方法，其特征在于：

所述步骤I中取用一个或几个Etalon，控制折射率n、表面间距l和入射角度θ中的1个或2个参数保持固定、改变另外2个或1个参数得到N种不同参数组状态的Etalon；

或者，所述步骤I中取用N个Etalon，振幅反射系数r相同，而折射率n、表面间距l和入射角度θ中的1个或2个参数相同、另外2个或1个参数取不同的值，构成不同参数组的N种Etalon。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的基于Etalon的激光的波长/频率的测量方法，其特征在于：

所述Etalon参数的改变对于空气间隙的Etalon，固定折射率n和入射角度θ，改变其表面间距l；

和/或对于气体/液体填充腔体的Etalon，固定其表面间距l为某个特定值，通过热、压力或者电子技术控制Etalon的折射率n为不同值；

和/或对于固体etalon，具有固定的折射率n和表面间距l，机械装置或电子装置动态调整输入激光的入射角度θ。

5.根据权利要求1至3中任一项所述的基于Etalon的激光的波长/频率的测量方法，其特征在于：

所述使用标准可调谐激光器以Δf步长扫描N种不同状态Etalon所得到的N条传输效率曲线中频率周期相近的两条传输效率曲线作为相互补偿的主要组合，相互补偿的两条传输效率曲线相邻的波峰间距为其中一条传输效率曲线频率周期的20％～30％。

6.根据权利要求5所述的基于Etalon的激光的波长/频率的测量方法，其特征在于：

所述相互补偿的两条传输效率曲线相邻波峰的间距为其中一条传输效率曲线频率周期的24％～26％。