[发明专利]一种循环热风式石英坩埚干燥机无效
申请号: | 201110122270.6 | 申请日: | 2011-05-12 |
公开(公告)号: | CN102778120A | 公开(公告)日: | 2012-11-14 |
发明(设计)人: | 邵天聪;金军 | 申请(专利权)人: | 江苏华尔光电材料股份有限公司 |
主分类号: | F26B21/02 | 分类号: | F26B21/02;F26B25/00 |
代理公司: | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人: | 徐激波 |
地址: | 225600 江苏省扬州市高邮市经*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 循环 热风 石英 坩埚 干燥机 | ||
1.一种循环热风式石英坩埚干燥机,其特征在于:包括干燥隧道(1)、传递装置、加热循环系统和排湿风系统,所述的传递装置包括干燥隧道中的传动辊(7)、一组光电定位传感器(6)以及位于干燥隧道(1)两端端口的气动门(5),所述的加热循环系统包括鼓风机、加热管、进风管(8)和回风管(3),所述的进风管(8)位于干燥隧道(1)的底部,所述的回风管(3)位于干燥隧道(1)的侧面,所述的排湿风系统由排湿管(2)组成,位于干燥隧道(1)的顶部。
2.根据权利要求1所述的循环热风式石英坩埚干燥机,其特征在于:所述的干燥隧道(1)里设有驱动传动辊(7)运动的驱动轮,所述传动辊(7)表面上附有丁晴橡胶层。
3.根据权利要求1或2所述的循环热风式石英坩埚干燥机,其特征在于:所述的排湿管(2)上设有除尘过滤装置(9)。
4.根据权利要求1或2所述的循环热风式石英坩埚干燥机,其特征在于:所述的干燥隧道(1)内壁及上部附有石英板(4)。
5.根据权利要求1或2所述的循环热风式石英坩埚干燥机,其特征在于:所述的鼓风机位于干燥隧道(1)下方,加热管位于鼓风机的出风处。
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