[发明专利]校正多个影像感测器坐标位置的方法及其装置有效
| 申请号： | 201110130121.4 | 申请日： | 2011-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN102768012A | 公开（公告）日： | 2012-11-07 |
| 发明（设计）人： | 姚福来 | 申请（专利权）人： | 姚福来 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00 |
| 代理公司： | 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 11139 | 代理人： | 孙皓晨 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 校正 影像 感测器 坐标 位置 方法 及其 装置 | ||
1.一种校正多个影像感测器坐标位置的方法，其特征在于包含有：
在一检测台上提供一光罩，该光罩上具有一透光图形；
使用该检测台上的一下影像感测器，在该光罩下方感测该透光图形，而校正该下影像感测器的坐标位置；及
使用该检测台上的一位置高于该下影像感测器的上影像感测器，在该光罩上方感测该透光图形，而校正该上影像感测器的坐标位置。
2.根据权利要求1所述校正多个影像感测器坐标位置的方法，其特征在于：所述下影像感测器固设于该光罩下方。
3.根据权利要求1所述校正多个影像感测器坐标位置的方法，其特征在于：所述下影像感测器能够沿着一个以上轴向位移至该光罩下方。
4.根据权利要求1所述校正多个影像感测器坐标位置的方法，其特征在于：所述上影像感测器能够沿着一个以上轴向位移至该光罩上方。
5.根据权利要求1所述校正多个影像感测器坐标位置的方法，其特征在于：所述上影像感测器及该下影像感测器同步经由该透光图形相互感测。
6.一种校正多个影像感测器坐标位置的装置，其特征在于，包含有：
一检测台；
一光罩，固设于该检测台上，该光罩上具有一透光图形：
一下影像感测器，配置于该检测台上，能够于该光罩下方感测该透光图形，而校正该下影像感测器的坐标位置；及
一上影像感测器，配置于该检测台上高于该下影像感测器的位置，能够进行一个以上轴向位移，而在该光罩上方感测该透光图形，并校正该上影像感测器的坐标位置。
7.根据权利要求6所述校正多个影像感测器坐标位置的装置，其特征在于：所述下影像感测器固设于该光罩下方。
8.根据权利要求6所述校正多个影像感测器坐标位置的装置，其特征在于：所述检测台上具有一连接该下影像感测器的第一驱动器，能够驱动该下影像感测器沿着一个以上轴向位移至该光罩下方。
9.根据权利要求6所述校正多个影像感测器坐标位置的装置，其特征在于：所述检测台上具有一连接该上影像感测器的第二驱动器，能够驱动该上影像感测器沿着一个以上轴向位移至该光罩上方。
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