[发明专利]校正多个影像感测器坐标位置的方法及其装置

说明书

技术领域

本发明提供一种校正多个影像感测器的坐标位置的方法，特别涉及利用光罩校正检测设备的多个影像感测器的坐标位置。本发明也提供一种具备多个影像感测器的检测设备。

背景技术

工业用的检测设备上通常配备有影像感测器，举如影像CCD(Charge Coupled Device)感测器，该影像感测器大多能在检测设备的检测台上沿纵向、横向及垂向位移，且能由上而下感测检测台上的待测物件的顶面影像。

且知，上述影像感测器通常能外接至计算机，并经由计算机运算出影像感测器的坐标位置，进而得知影像感测器感测的待测物件的坐标位置，以作为控制其他器具对物件进而加工或检测的依据；该影像感测器的坐标位置通常是利用检测台上的机械式原点来进行校正，该机械式原点是指能够将影像感测器校正至正确的坐标位置的止挡结构或装置。

然而，由于目前的光电产品的制造精密度极高，上述利用机械式原点校正影像感测器的坐标位置的作法，在进行多个影像感测器的坐标位置的校正时，容易造成各影像感测器的坐标位置之间产生微细误差，但该微细误差已足以影响光电产品的制造精度；此外，上述利用影像感测器由待测物件的单一方位进行感测而取得坐标位置的作法，显然已经难以满足现阶段在检测精密度上的需求；另外，市面上虽然已存在有在物件的多个方位分别配置影像感测器来进行感测的作法，但所述影像感测器是各自运作的，因此各影像感测器的坐标位置并不具有同步调动的能力，且未提出校正所述影像感测器的坐标位置的作法。

再者，市面上另存在有利用光罩来校正物件单一方位的影像感测器的坐标位置的技术，但所述物件单一方位的影像感测器对检测精密度的提升上并不具有显著功效。

发明内容

本发明的一目的在于提供一种校正多个影像感测器坐标位置的方法，能够以光学式原点校正多个影像感测器的坐标位置，以克服上述先前技术中，利用机械式原点校正影像感测器的坐标位置，而容易造成各影像感测器的坐标位置之间产生微细误差的问题；此外，并能够校正待测物件的多个方位的影像感测器的坐标位置，致使所述影像感测器的坐标位置能够同步调动，进而能够利用所述影像感测器由待测物件的多个方位进行感测，以克服上述先前技术中，利用影像感测器由待测物件的单一方位进行感测，而难以满足现阶段在检测精密度上需求的困扰。

本发明的另一目的在于提供一种校正多个影像感测器坐标位置的装置，能够利用待测物件的多个方位的影像感测器进行感测而取得坐标位置，并能校正所述影像感测器的坐标位置。

为实现上述目的并解决问题，本发明采用的方法，包含：

在一检测台上提供一光罩，该光罩上具有一透光图形；

使用该检测台上的一下影像感测器，在该光罩下方感测该透光图形，而校正该下影像感测器的坐标位置；及

使用该检测台上的一位置高于该下影像感测器的上影像感测器，在该光罩上方感测该透光图形，而校正该上影像感测器的坐标位置。

据此，能以光罩作为光学式原点，校正待测物件的上、下二个方位的上、下影像感测器的坐标位置，致使所述上、下影像感测器的坐标位置能同步调动，进而能够利用所述上、下影像感测器由待测物件的上、下二个方位进行感测。

在一具体的实施上，该下影像感测器固设于光罩下方；或者，该下影像感测器也能沿着一个以上轴向位移至光罩下方。此外，该上影像感测器能沿着一个以上轴向位移至光罩上方。

在另一具体的实施上，该上影像感测器及下影像感测器同步经由该透光图形相互感测。

除此之外，本发明采行的装置技术，包含：

一检测台；

一光罩，固设于该检测台上，该光罩上具有一透光图形：

一下影像感测器，配置于该检测台上，能够于该光罩下方感测该透光图形，而校正该下影像感测器的坐标位置；及

一上影像感测器，配置于该检测台上高于该下影像感测器的位置，能够进行一个以上轴向位移，而于该光罩上方感测该透光图形，并校正该上影像感测器的坐标位置。

据此，能利用待测物件的上、下二个方位的上、下影像感测器进行感测而取得坐标位置，并能校正所述上、下影像感测器的坐标位置，使所述上、下影像感测器的坐标位置能够同步调动。

实际上，该下影像感测器固设于光罩下方；或者，该检测台上具有一连接下影像感测器的第一驱动器，能驱动下影像感测器沿着一个以上轴向位移至光罩下方。

此外，该检测台上具有一连接上影像感测器的第二驱动器，能驱动上影像感测器沿着一个以上轴向位移至光罩上方。