[发明专利]光刻胶剥离剂废液回收系统及其方法

权利要求书

1.一种光刻胶剥离剂废液回收系统，其特征在于，包括：

一回收装置，接收且处理经过一光刻胶剥离工艺中所产生的一第一废液并产生一第二废液与一第一回收液，其中该第一回收液包含一剥离剂混合物与水，且该第二废液与该第一废液都至少包括一固形物、该剥离剂混合物与水；以及

一废液处理装置，包括：

一蒸馏模块，接收且加热该第二废液，使得该第二废液中的该剥离剂混合物与水部份蒸发；以及

一冷凝模块，接收且冷凝被部份蒸发的该剥离剂混合物与水，使得被部份蒸发的该剥离剂混合物与水液化成一第二回收液，其中，该第二回收液至少包含该剥离剂混合物与水。

2.根据权利要求1所述的光刻胶剥离剂废液回收系统，其特征在于，该剥离剂混合物至少包含乙二醇单丁醚、乙醇胺、二甲基亚砜与N-甲基吡咯酮其中至少二种。

3.根据权利要求1所述的光刻胶剥离剂废液回收系统，其特征在于，该蒸馏模块包括一第一加热单元，该第一加热单元用以加热该第二废液。

4.根据权利要求1所述的光刻胶剥离剂废液回收系统，其特征在于，该废液处理装置包括一循环模块，当该蒸馏模块加热该第二废液时另产生一残留液，该循环模块加热该残留液并将被加热的该残留液输送回该蒸馏模块。

5.根据权利要求4所述的光刻胶剥离剂废液回收系统，其特征在于，该循环模块包括一第二加热单元，该第二加热单元用以加热该残留液。

6.根据权利要求1所述的光刻胶剥离剂废液回收系统，其特征在于，当该蒸馏模块蒸馏该第二废液完成后，形成一蒸馏残留物，其中，该蒸馏残留物包含该固形物。

7.根据权利要求1所述的光刻胶剥离剂废液回收系统，其特征在于，该固形物包含光刻胶。

8.根据权利要求1所述的光刻胶剥离剂废液回收系统，其特征在于，该光刻胶剥离剂废液回收系统另包括一真空泵单元，该真空泵单元用以增加该废液处理装置的真空度。

9.根据权利要求1所述的光刻胶剥离剂废液回收系统，其特征在于，该第一回收液输送至一光刻胶剥离工艺机台。

10.根据权利要求9所述的光刻胶剥离剂废液回收系统，其特征在于，该第一回收液会先输送至一光刻胶剥离剂调整槽中。

11.根据权利要求1所述的光刻胶剥离剂废液回收系统，其特征在于，该第二回收液输送至该回收装置中。

12.根据权利要求11所述的光刻胶剥离剂废液回收系统，其特征在于，该第二回收液会先输送至一储存槽中。

13.根据权利要求1所述的光刻胶剥离剂废液回收系统，其特征在于，该冷凝模块包含：

一冷凝器；

一第一中间槽，连接至该冷凝器，以储存该第二废液中部份的水，以及

一第二中间槽，连接至该冷凝器，以储存该第二回收液。

14.根据权利要求13所述的光刻胶剥离剂废液回收系统，其特征在于，该冷凝模块包含二切换单元，该些切换单元其中之一配置于该冷凝器与该第一中间槽之间，另一该切换单元配置于该冷凝器与该第二中间槽之间，该些切换单元依据该蒸馏模块加热该第二废液的温度选择性地使该冷凝器连接该第一中间槽与该第二中间槽。

15.根据权利要求14所述的光刻胶剥离剂废液回收系统，其特征在于，当该蒸馏模块加热该第二废液的温度小于一第一温度时，该些切换单元使该冷凝器连接该第一中间槽。

16.根据权利要求15所述的光刻胶剥离剂废液回收系统，其特征在于，当该蒸馏模块加热该第二废液的温度大于该第一温度时，该些切换单元使该冷凝器连接该第二中间槽。