[发明专利]光刻胶剥离剂废液回收系统及其方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种废液回收系统及其方法，尤其涉及一种光刻胶(photo-resist)剥离剂(Stripper)废液回收系统及其方法。

背景技术

在半导体或平面显示器的薄膜晶体管数组的制作过程中，需要通过涂布光刻胶层、显影以及蚀刻等工艺使得硅晶圆上形成特定的电路图案，当硅晶圆上形成特定的电路图案后，需利用光刻胶剥离剂(photo-resist stripper)将残留于硅晶圆上的光刻胶去除。

现有技术中，业者将光刻胶剥离工艺机台使用过的光刻胶剥离剂回收至废液储槽，其中，有部分使用过的光刻胶剥离剂经由排气系统抽至冷凝器冷凝收集至废液储槽。接着，将废液储槽所储存使用过的光刻胶剥离剂输送至废液清运商进行废液处理。但上述方法容易造成资源的浪费及环保上的问题。再者，目前市面上许多电子产品于制造过程中都需经过光刻胶剥离工艺，使得光刻胶剥离剂的需求量变大，因此，如何将使用过的光刻胶剥离剂有效的回收再利用与减量是未来改善的方向。

发明内容

本发明提出一种光刻胶剥离剂废液回收系统及其方法，借以提高光刻胶剥离剂废液的回收率，减少光刻胶剥离剂的浪费。

本发明所揭露的光刻胶剥离剂废液回收系统，包括回收装置与废液处理装置，废液处理装置包括蒸馏模块与冷凝模块。回收装置接收且处理经过光刻胶剥离工艺中所产生的第一废液并产生第二废液与第一回收液，蒸馏模块接收且加热第二废液，而使得第二废液中的剥离剂混合物与水部份蒸发。冷凝模块接收且冷凝被部份蒸发的剥离剂混合物与水，而使得被部份蒸发的剥离剂混合物与水液化成第二回收液。其中，第一回收液包含剥离剂混合物及水，第二废液与第一废液都至少包括固形物、剥离剂混合物及水，第二回收液至少包含剥离剂混合物及水。

在一实施例中，剥离剂混合物至少包含乙二醇单丁醚(Butyl Diglycol Ether，BDG)、乙醇胺(1-Amino-2-hydroxyethane，Monoethanolamine，MEA)、二甲基亚砜(Dimethyl Sulfoxide，DMSO)及N-甲基吡咯酮(N-Methyl-2-Pyrrolidone，NMP)其中至少二种。

在一实施例中，蒸馏模块可包括第一加热单元，以加热第二废液。

在一实施例中，废液处理装置可包括循环模块，当蒸馏模块加热第二废液时另产生残留液，循环模块加热残留液并将被加热的残留液输送回蒸馏模块。

在一实施例中，循环模块可包括第二加热单元，以加热残留液。

在一实施例中，当蒸馏模块蒸馏第二废液完成后，而形成蒸馏残留物，其中，蒸馏残留物包含固形物。

在一实施例中，固形物可包括光刻胶，其中光刻胶可选自正型光刻胶、负型光刻胶及其组合的群组。

在一实施例中，光刻胶剥离剂废液回收系统另可包括真空泵单元，以增加废液处理装置的真空度。

在一实施例中，第一回收液可输送至光刻胶剥离工艺机台。

在一实施例中，第一回收液可先输送至光刻胶剥离剂调整槽中。

在一实施例中，第二回收液可输送至回收装置中。

在一实施例中，第二回收液可先输送至储存槽中。

在一实施例中，冷凝模块可包含冷凝器、第一中间槽与第二中间槽。第一中间槽连接至冷凝器，以储存第二废液中部份的水。第二中间槽连接至冷凝器，以储存第二回收液。

在一实施例中，冷凝模块可包含二切换单元，这些切换单元其中之一配置于冷凝器与第一中间槽之间，另一切换单元配置于冷凝器与第二中间槽之间，这些切换单元可依据蒸馏模块加热第二废液的温度选择性地使冷凝器连接第一中间槽与第二中间槽。

在一实施例中，当蒸馏模块加热第二废液的温度小于第一温度时，这些切换单元可使冷凝器连接第一中间槽，当蒸馏模块加热第二废液的温度大于第一温度时，这些切换单元可使冷凝器连接第二中间槽，其中第一温度与水及剥离剂混合物的沸点有关。

本发明所揭露的光刻胶剥离剂废液回收方法，包括：由回收装置接收且处理经过光刻胶剥离工艺中所产生的第一废液并产生第二废液与第一回收液，其中第一回收液包含剥离剂混合物及水，且第二废液与第一废液都至少包括固形物、剥离剂混合物及水；由废液处理装置的蒸馏模块接收且加热第二废液，而使得第二废液中的剥离剂混合物与水部份蒸发；以及由废液处理装置的冷凝模块接收且冷凝被部份蒸发的剥离剂混合物与水，而使得被部份蒸发的剥离剂混合物与水液化成第二回收液，其中，第二回收液至少包含剥离剂混合物及水。