[发明专利]参数化单元的实现方法及由该参数化单元构成的系统有效
申请号: | 201110137674.2 | 申请日: | 2011-05-26 |
公开(公告)号: | CN102156794A | 公开(公告)日: | 2011-08-17 |
发明(设计)人: | 罗海燕;陈岚;尹明会;赵劼 | 申请(专利权)人: | 中国科学院微电子研究所 |
主分类号: | G06F17/50 | 分类号: | G06F17/50 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 周国城 |
地址: | 100029 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 参数 单元 实现 方法 构成 系统 | ||
1.一种参数化单元的实现方法,其特征在于,该方法包括:
对多个器件模型进行共性分析,提取多个器件模型的共同特征,形成特征集;
分别根据每个器件模型的特征,调用所述特征集中的子单元,对所述每个器件模型进行参数化实现,得到每个器件模型的参数;
将所述每个器件模型的参数进行组合,并对每个组合方式进行验证,验证通过的组合方式所对应的器件模型形成参数化单元。
2.根据权利要求1所述的参数化单元的实现方法,其特征在于,
所述对多个器件模型进行共性分析,提取多个器件模型的共同特征,形成特征集,是对多个MOS管模型进行共性分析,提取多个MOS管模型的共同特征,形成MOS管的特征集;
所述分别根据每个器件模型的特征,调用所述特征集中的子单元,对所述每个器件模型进行参数化实现,得到每个器件模型的参数,是根据MOS管器件模型的特征,调用MOS管特征集中的子单元,对所述MOS管器件模型进行参数化实现,具体为:
定义并初始化MOS管的器件参数;
调用MOS管特征集中的参数精度取值范围子单元,并对所述参数精度取值范围子单元外的器件参数进行定义;
依据设计规则和MOS管示意图,确定扩散层坐标,选取所述扩散层坐标中的一点或多点作为基准以进行定位;
根据所述扩散层坐标,确定栅位置;
选取已知坐标点并依据设计规则确定源漏端金属位置;
调用MOS管特征集中的接触孔阵列子单元,确定源漏端的接触孔阵列的位置以及接触孔排列方式;
调用MOS管特征集中的漏源连接类型子单元,确定源漏端连接类型;
调用MOS管特征集中的绘制图层子单元,绘制MOS管的所述栅;
调用MOS管特征集中的栅极连接类型子单元,确定栅的连接方式;
调用MOS管特征集中的衬底连接子单元,确定集成型和分离型衬底连接;以及
调用MOS管特征集中的绘制图层子单元,绘制所述MOS管的各图层。
3.根据权利要求2所述的参数化单元的实现方法,其特征在于:
所述MOS管特征集包括源漏连接类型子单元、栅极连接类型子单元、衬底连接子单元、参数精度取值范围子单元、绘制图层子单元和接触孔阵列子单元中的至少一种;
所述MOS管的器件参数包括器件模型名称、MOS器件沟道长度和总宽度、沟道数量、栅极连接类型、漏源连接类型、漏源连接金属宽度、漏源交换类型和衬底连接中的多种。
4.根据权利要求2所述的参数化单元的实现方法,其特征在于:所述源漏连接类型包括都不连接、只连接漏端、只连接源端和源漏同时连接;
所述栅的连接方式包括所有栅都不连接、只连接顶部、只连接底部以及顶部和底部都连接。
5.根据权利要求1所述的参数化单元实现方法,其特征在于,所述对多个器件模型进行共性分析,提取多个器件模型的共同特征,形成特征集,是对多个电阻模型进行共性分析,提取多个电阻模型的共同特征,形成电阻的特征集;
所述分别根据每个器件模型的特征,调用所述特征集中的子单元,对所述每个器件模型进行参数化实现,得到每个器件模型的参数,是根据电阻器件模型的特征,调用电阻特征集中的子单元,对所述电阻模型进行参数化实现;其中:
所述电阻特征集包括电阻器件连接方式子单元、电阻头区接触孔行数和列数子单元,以及衬底连接子单元中的至少一种;
所述电阻模型的参数包括器件模型名称、电阻器件总段数、电阻器件连接方式、电阻值计算方式、电阻段电阻的长度和宽度、电阻头区接触孔行数和列数、衬底连接、器件上衬底接触向外伸展的距离、方块电阻值、段宽和长误差和扩散电阻值中的多种。
6.一种由权利要求1所述参数化单元构成的系统,其特征在于,包括:共性分析模块、参数实现模块和验证模块;其中,
所述共性分析模块,用于对器件模型进行共性分析,提取器件模型的共同特征形成特征集;
所述参数实现模块,用于分别根据每个器件模型的特征,调用特征集中的子单元,对所述每个器件模型进行参数化实现;
所述验证模块,用于将各器件模型的参数进行组合,对每个组合方式进行验证,验证通过的组合方式所对应的器件模型形成参数化单元。
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