[发明专利]测试载片台无效
| 申请号： | 201110137967.0 | 申请日： | 2011-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN102305882A | 公开（公告）日： | 2012-01-04 |
| 发明（设计）人： | 王晔;张天力;吴宾;顾良波 | 申请（专利权）人： | 上海集成电路技术与产业促进中心 |
| 主分类号： | G01R1/04 | 分类号： | G01R1/04;G01R27/02 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 郑玮 |
| 地址： | 201203 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 测试 载片台 | ||
【权利要求书】：
1.一种测试载片台，其特征在于，包括承载台和至少两组偏置导线和测量导线；
所述承载台用于承载待测晶圆的表面涂覆有导电层；
所述偏置导线和测量导线均设置在所述承载台上，且均与所述导电层电连接。
2.如权利要求1所述的测试载片台，其特征在于，所述偏置导线和测量导线以相间方式排布在同一圆周上，且所述偏置导线和测量导线沿其圆周均匀分布。
3.如权利要求1所述的测试载片台，其特征在于，所述偏置导线与其对应的测量导线之间的夹角为180°。
4.如权利要求1～3中任一权利要求所述的测试载片台，其特征在于，所述偏置导线和测量导线均设置在所述承载台的侧壁上。
5.如权利要求1～3中任一权利要求所述的测试载片台，其特征在于，所述导电层为金属层。
6.如权利要求1～3中任一权利要求所述的测试载片台，其特征在于，该测试载片台设有三组偏置导线和测量导线。
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