[发明专利]阵列基板的检测方法及检测系统

权利要求书

1.一种阵列基板的检测方法，所述的方法包括：

向所述阵列基板上的数据线或/和栅极线供电，并持续设定的时间；

对所述阵列基板上数据线或/和栅极线进行温度感测，记录温度感测结果；

查找所述温度感测结果中异常的温度数据，查找所述异常的温度数据对应的数据线或/和栅极线上的点，将所述异常的温度数据对应的数据线或/和栅极线上的点作为缺陷点。

2.根据权利要求1所述的检测方法，其特征在于，所述的对阵列基板上数据线或/和栅极线进行温度感测，记录温度感测结果具体包括：对所述阵列基板上的数据线或/和栅极线逐点感测，并逐点记录所述阵列基板上的数据线或/和栅极线的温度数据；所述的查找所述温度感测结果中异常的温度数据具体包括：比较记录的所述阵列基板上的数据线或/和栅极线的温度数据，将其中温度数值高的作为异常温度数据。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述的对阵列基板上数据线或/和栅极线进行温度感测，记录温度感测结果具体包括：对所述阵列基板上的数据线或/和栅极线整条感测，记录整条被感测数据线或/和栅极线的温度数据，形成所述被感测数据线或/和栅极线的温度曲线；所述的查找所述温度感测结果中异常的温度数据具体包括：查找所述温度曲线中有幅度变化的点，将所述有幅度变化的点的温度数值作为异常温度数据。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述的查找所述异常的温度数据对应的数据线或/和栅极线上的点具体包括：

根据所述温度曲线上各个点对应的坐标，查找所述有幅度变化的点的坐标，根据所述的坐标查找对应的数据线或/和栅极线上的点。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，具体包括：

采用热像仪对所述阵列基板上数据线或/和栅极线进行温度感测，所述热像仪对所述阵列基板上的数据线或/和栅极线进行温度感测后形成红外热像图；根据所述红外热像图中图像的颜色确定所述异常的温度数据，查找所述异常的温度数据对应的数据线或/和栅极线上的点。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括：

清除所检测到的所述阵列基板上数据线或/和栅极线的缺陷点，用形成所述数据线或/和栅极线的材料填补所述缺陷点。

7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述对阵列基板上数据线或/和栅极线进行温度感测具体包括：

在所述阵列基板上的栅极线形成之后，对所述阵列基板上的栅极线进行温度感测；在所述阵列基板上的数据线形成之后，对所述阵列基板上的数据线进行温度感测。

8.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述对阵列基板上数据线或/和栅极线进行温度感测具体包括：

在所述阵列基板上的栅极线和数据线形成之后，同时对所述阵列基板上的栅极线和数据线进行温度感测。

9.一种阵列基板的检测系统，其特征在于，所述的系统包括：

电源，用来通过所述检测电路向阵列基板的数据线或/和栅极线供电；

检测电路，用来连通所述电源与所述阵列基板的数据线或/和栅极线，使得所述电源向所述阵列基板的数据线/栅极线供电，输入电流；以及，

温度感测装置，用来感测所述阵列基板的数据线或/和栅极线在通电设定时间后各个点的温度，并用来记录和显示温度感测结果。

10.根据权利要求9所述的系统，其特征在于，所述温度感测装置为热像仪，所述热像仪用来感测所述阵列基板的数据线或/和栅极线在通电设定时间后的温度，形成与所述数据线或/和栅极线对应的红外热像图。