[发明专利]阵列基板的检测方法及检测系统

说明书

【技术领域】

本发明涉及LCD(liquid-crystal display，液晶显示器)制造技术领域，尤其涉及一种LCD阵列基板的检测方法及检测系统。

【背景技术】

TFT-LCD(thin-film transistor liquid-crystal display，薄膜晶体管液晶显示器)包括三个主要的制程，彩膜(color film)制程、阵列(array)制程和整盒(cell)制程。在阵列制程中，完成布线之后，为保证产品的质量，将对阵列基板上的布线进行检测，以避免缺陷。

现有技术中，通常采用open/short test(开路/短路检测)或AOI(Automatic Optical Inspection，自动光学检测)的方式对阵列基板上的布线进行检测。但由于阵列基板上分布有多条垂直交叉排列的dataline(数据线)和gateline(栅极线)，如图1所示的m行、n列的阵列基板，其中x1、x2、x3、x4、……xm表示m条栅极线，y1、y2、y3、y4、……yn表示n条数据线。这些数据线和/或栅极线内部也可能存在缺陷(DEFECT)，如内部有空心、气泡等造成其密度减小的缺陷，而采用open/shorttest(开路/短路检测)或AOI(Automatic Optical Inspection，自动光学 检测)不易检测出。

如果在阵列制程中未检测出数据线或者栅极线内部的缺陷，产品进入后续的制程中，会造成大量的浪费。

故，有必要提供一种阵列基板缺陷检测方法和检测系统，以解决现有技术所存在的问题。

【发明内容】

本发明的目的在于提供一种阵列基板检测方法及检测系统，以解决对阵列基板的数据线/栅极线内部进行缺陷检测问题。

本发明是这样实现的：

一种阵列基板的检测方法，所述的方法包括：

向所述阵列基板上的数据线或/和栅极线供电，并持续设定的时间；

对所述阵列基板上数据线或/和栅极线进行温度感测，记录温度感测结果；

查找所述温度感测结果中异常的温度数据，查找所述异常的温度数据对应的数据线或/和栅极线上的点，将所述异常的温度数据对应的数据线或/和栅极线上的点作为缺陷点。

在本发明的一较佳实施例中，所述的对阵列基板上数据线或/和栅极线进行温度感测，记录温度感测结果具体包括：

对所述阵列基板上的数据线或/和栅极线逐点感测，并逐点记录所述阵列基板上的数据线或/和栅极线的温度数据；所述的查找所述温度感测结果中异常的温度数据具体包括：比较记录的 所述阵列基板上的数据线或/和栅极线的温度数据，将其中温度数值高的作为异常温度数据。

在本发明的一较佳实施例中，所述的对阵列基板上数据线或/和栅极线进行温度感测，记录温度感测结果具体包括：对所述阵列基板上的数据线或/和栅极线整条感测，记录整条被感测数据线或/和栅极线的温度数据，形成所述被感测数据线或/和栅极线的温度曲线；所述的查找所述温度感测结果中异常的温度数据具体包括：查找所述温度曲线中有幅度变化的点，将所述有幅度变化的点的温度数值作为异常温度数据。

在本发明的一较佳实施例中，所述的查找所述异常的温度数据对应的数据线或/和栅极线上的点具体包括：

根据所述温度曲线上各个点对应的坐标，查找所述有幅度变化的点的坐标，根据所述的坐标查找对应的数据线或/和栅极线上的点。

在本发明的一较佳实施例中，具体包括：

采用热像仪对所述阵列基板上数据线或/和栅极线进行温度感测，所述热像仪对所述阵列基板上的数据线或/和栅极线进行温度感测后形成红外热像图；根据所述红外热像图中图像的颜色确定所述异常的温度数据，查找所述异常的温度数据对应的数据线或/和栅极线上的点。

在本发明的一较佳实施例中，所述的方法还包括：

清除所检测到的所述阵列基板上数据线或/和栅极线的缺陷点，用形成所述数据线或/和栅极线的材料填补所述缺陷点。

在本发明的一较佳实施例中，所述对阵列基板上数据线或/和栅极线进行温度感测具体包括：

在所述阵列基板上的栅极线形成之后，对所述阵列基板上的栅极线进行温度感测；在所述阵列基板上的数据线形成之后，对所述阵列基板上的数据线进行温度感测。

在本发明的一较佳实施例中，所述对阵列基板上数据线或/和栅极线进行温度感测具体包括：

在所述阵列基板上的栅极线和数据线形成之后，同时对所述阵列基板上的栅极线和数据线进行温度感测。