[发明专利]薄膜

权利要求书

1.一种薄膜，适用于安装在一化学机械研磨机的一研磨头上，该薄膜包括：

一主要部分；以及

一边缘部分，位于该主要部分的边缘，其特征在于该主要部分与该边缘部分之间的一第一夹角为钝角。

2.根据权利要求1所述的薄膜，其特征在于该研磨头的一框架包括一框架主体及一固定环，该薄膜安装于该框架主体上，且该固定环围绕且连接该框架主体，当该固定环压迫一研磨垫时，使得位于该固定环内部的该研磨垫形成一突起部，而在该研磨垫的一平坦部与该突起部之间形成一第二夹角，该第一夹角大体上等于该第二夹角。

3.根据权利要求2所述的薄膜，其特征在于该边缘部分的作用范围大体上等于该研磨垫的该突起部的所在范围。

4.根据权利要求2项所述的薄膜，其特征在于该第二夹角为90度至180度。

5.根据权利要求1所述的薄膜，其特征在于该第一夹角为90度至180度。

6.根据权利要求1所述的薄膜，其特征在于该薄膜的材料包括橡胶。

7.根据权利要求1所述的薄膜，其特征在于该主要部分与该边缘部分为一体成型。