[发明专利]固化膜形成用放射线敏感性树脂组合物及其制造方法、固化膜及其形成方法及显示元件

说明书

技术领域

本发明涉及固化膜形成用放射线敏感性树脂组合物、固化膜形成用放射线敏感性树脂组合物的制造方法、固化膜、固化膜的形成方法及显示元件。 

背景技术

作为薄膜晶体管(TFT)型液晶显示元件等电子部件，为了一般在配置成层状的配线之间绝缘而设置层间绝缘膜。例如TFT型液晶显示元件就是通过在层间绝缘膜上形成透明电极膜，再于其上形成液晶取向膜的工序而制造的。作为所述层间绝缘膜，由于要曝露于透明电极膜的形成工序中的高温条件下、以及电极的图案形成中使用的抗蚀剂的剥离液中，要求对这些条件有足够的耐热性及耐化学试剂性。另外，对于用来形成这种固化膜的放射线敏感性树脂组合物，也需要能缩短放射线照射时间(即，高放射线敏感度)及具有良好的贮存稳定性。 

而且，近年来，采用TFT技术的轻量小型柔性显示器正在普及。作为柔性显示器的基板，已研究了聚碳酸酯等塑料基板。塑料基板因加热而伸展、收缩，结果就存在着损害显示器功能的不好情况。因此正在研究使柔性显示器制造中的加热工序低温化。例如日本特开2009-4394号公报中公开了含有即使进行低温烧制也能固化的聚酰亚胺前体的柔性显示器上使用的栅绝缘膜用涂布 液。但是，该涂布液并不具备通过曝光显影形成图案的能力，因此不可能形成精细的图案。而且，由于固化反应进行的不充分，得到的固化膜除耐热性、耐化学试剂性外，并没有达到满足透光率、平坦性、耐线性热膨胀性等的良好水平。 

因此还考虑了通过添加低温下也能用作环氧类材料的固化剂的胺化合物来进行交联反应的策略。但是，添加一般的胺化合物时，会导致随时间经过而与组合物中存在的环氧基进行反应，可能会使贮存稳定性变差。 

由于这种情况，还期待开发出同时满足贮存稳定性和低温烧制，并且具有足够的放射线敏感度的固化膜形成用放射线敏感性树脂组合物、作为固化膜所需特性的耐热性、耐化学试剂性、透光率、平坦性、耐线性热膨胀性等性能优异的固化膜。 

现有技术文献 

专利文献 

专利文献1：日本特开2009-4394号公报 

发明内容

本发明是基于以上这种情况做出的，其目的在于提供同时满足贮存稳定性和低温烧制，并且具有足够的放射线敏感性的固化膜形成用放射线敏感性树脂组合物、耐热性、耐化学试剂性、透光率、平坦性及耐线性热膨胀性等性能优异的固化膜以及电压保持率优异的显示元件。 

用于解决上述问题的发明为： 

固化膜形成用放射线敏感性树脂组合物，其含有： 

[A]具有(a1)含羧基的结构单元及(a2)含环氧基的结构单元的共聚物(以下也称为“[A]共聚物”)、 

[B]具有乙烯性不饱和键的聚合性化合物(以下，也称为“[B]聚合性化合物”)、 

[C]放射线敏感性聚合引发剂、 

[D]具有羟基或羧基的化合物(以下，也称为“[D]化合物”)、及 

[E]胺化合物； 

并且25℃下的粘度为1.0mPa·s以上50mPa·s以下。 

该放射线敏感性树脂组合物含有作为碱可溶性树脂的[A]共聚物、[B]聚合性化合物及[C]放射线敏感性聚合引发剂。作为感光性材料的该放射线敏感性树脂组合物可以通过利用了放射线敏感性的曝光、显影容易地形成精细而精巧的图案，并且具有足够的放射线敏感性。另外，由于含有[D]化合物及[E]胺化合物，该放射线敏感性树脂组合物在25℃下的粘度可以被控制在1.0mPa·s以上50mPa·s以下，能够同时满足贮存稳定性和低温烧制。