[发明专利]压印装置以及利用该压印装置的压印方法

权利要求书

1.一种压印装置，包括：

室单元，在所述室单元中进行在基板上形成图案的工艺；

平台，用于支撑基板，在所述基板上形成有树脂层，其中所述平台安装在所述室单元中；

安装构件，在所述安装构件上贴附有模具构件以改变所述树脂层的形状从而在基板上形成图案，其中所述安装构件安装在所述室单元中并且位于所述平台上方；以及

第一喷射单元，用于喷射流体从而使平台所支撑的基板与所述平台分开，其中所述第一喷射单元安装在所述室单元中，

其中所述安装构件使所述模具构件沿着逐渐靠近与所述平台分开的基板的方向移动，从而使所述模具构件与所述树脂层彼此接触。

2.根据权利要求1所述的压印装置，其中所述平台包括与第一喷射单元相连的第一通孔，其中所述第一喷射单元与所述第一通孔相连以通过第一通孔喷射流体而使所述基板与所述平台分开。

3.根据权利要求1所述的压印装置，进一步包括：

照明单元，用于发射光以固化所述树脂层；以及

传送单元，用于传送所述照明单元以便将从所述照明单元发射的光施加于树脂层的整个表面上，

其中所述照明单元向与所述平台分开的基板发射光以便固化已依照模具构件改变形状的树脂层。

4.根据权利要求1所述的压印装置，进一步包括第二喷射单元，用于喷射流体以使所述模具构件与所述安装构件分开，所述第二喷射单元安装在所述室单元中，

其中所述安装构件包括与第二喷射单元相连的第二通孔，其中所述第二喷射单元与所述第二通孔相连以通过第二通孔喷射流体而使所述模具构件与所述安装构件分开。

5.根据权利要求1所述的压印装置，进一步包括用于调整所述室单元的内部压力的压力调整单元，

其中所述压力调整单元将所述室单元的内部压力从第一压力调整为第二压力，以便依照模具构件的形状改变接触所述模具构件的树脂层的形状，其中所述第二压力高于所述第一压力。

6.一种压印方法，包括如下步骤：

将其上形成有树脂层的基板放在平台上，所述平台安装在室单元中；

使模具构件与树脂层接触；以及

依照所述模具构件的形状来改变所述树脂层的形状，

其中使所述模具构件与所述树脂层接触的工艺包括通过朝所述平台所支撑的基板喷射流体而使所述基板与所述平台分开。

7.根据权利要求6所述的压印方法，进一步包括固化已依照模具构件改变形状的树脂层，

其中固化所述树脂层的工艺包括驱动照明单元向与所述平台分开的基板施加用于固化树脂层的光。

8.根据权利要求7所述的压印方法，其中固化所述树脂层的工艺包括传送所述照明单元以便将所述照明单元发射的光施加于树脂层的整个表面上。

9.根据权利要求6所述的压印方法，其中使所述模具构件与所述树脂层接触的工艺包括通过朝贴附于安装构件的模具构件喷射流体而使所述模具构件与所述安装构件分开。

10.根据权利要求6所述的压印方法，其中改变所述树脂层形状的工艺包括当所述模具构件与所述树脂层接触时将所述室单元的内部压力从第一压力调整为第二压力，其中所述第二压力高于所述第一压力。