[发明专利]压印装置以及利用该压印装置的压印方法

说明书

相关申请的相互引用

本申请要求于2010年6月7日提交的韩国专利申请10-2010-0053282的优先权，该专利申请在此全部引入作为参考。

技术领域

本发明涉及一种在用于显示设备的基板上形成图案的压印装置，以及利用该压印装置的压印方法。

背景技术

诸如LCD(液晶显示器)、OLED(有机发光二极管)、PDP(等离子体显示面板)和EPD(电泳显示器)的显示设备通过多个步骤进行制造。为了制造这些显示设备，进行利用压印装置的压印工艺以便在用于显示设备的基板上形成图案。

压印装置通过利用模具构件向其上形成有树脂层的基板施加压力，由此依照该模具构件的形状来改变基板上的树脂层的形状。因此，在该基板上形成所希望的图案。模具构件上浮凸出想要在基板上形成的图案。

现有技术的压印装置包括用于支撑基板的平台(stage)。随着现有技术的压印装置在平台所支撑的基板上按压模具构件，在基板上压印出图案。在这点上，现有技术的压印装置可能具有由于平台的平面度导致的在带有图案的基板上出现模糊的问题。基板上的模糊可能会降低显示设备上显示的图像的画面质量。另外，现有技术的压印装置利用具有良好平面度的高价平台来减少基板上出现的模糊，然而，高价平台致使压印工艺的制造成本增加，此外还致使基板的单位成本增加。

发明内容

因此，本发明涉及一种压印装置以及利用该压印装置的压印方法，其基本上消除了由于现有技术的限制和缺陷所引起的一个或多个问题。

本发明的一个方面是提供一种压印装置以及利用该压印装置的压印方法，其有助于防止在基板上形成图案的工艺被平台的平面度影响。

本发明额外的优点和特点将在随后的描述中部分地进行阐述，并且根据对下文的研究，这些优点和特点在某种程度上对于本领域技术人员而言是显而易见的，或者可以通过实施本发明而获悉。本发明的这些目的和其他优点可以通过文字描述及其权利要求以及附图中特别指出的结构来实现和获得。

为了实现这些和其他优点，并且依照本文中详述和概述的发明目的，提供了一种压印装置，包括：室单元，在室单元中进行在基板上形成图案的工艺；平台，用于支撑基板，在该基板上形成有树脂层，其中该平台安装在室单元中；安装构件，在该安装构件上贴附有模具构件以改变树脂层的形状从而在基板上形成图案，其中该安装构件安装在室单元中并且位于平台的上方；以及第一喷射单元，用于喷射流体从而使平台所支撑的基板与该平台分开，其中该第一喷射单元安装在室单元中，其中该安装构件使模具构件沿着逐渐靠近与平台分开的基板的方向移动，从而使模具构件与树脂层彼此接触。

在本发明的另一个方面，提供一种压印方法，包括以下步骤：将其上形成有树脂层的基板放在平台上，该平台安装在室单元中；使模具构件与树脂层接触；以及依照模具构件的形状来改变树脂层的形状，其中使模具构件与树脂层接触的工艺包括通过朝平台所支撑的基板喷射流体而使该基板与该平台分开。

应当理解，本发明前面的概述和后面的详述都是示范性和解释性的，且用来提供所要求保护的发明的进一步解释。

附图说明

所包括的附图提供对本发明的进一步的理解，附图合并到说明书中并构成说明书的一部分，图解说明了本发明的实施例，并且连同文字描述一起用来解释本发明的原理。在附图中：

图1是图解说明根据本发明的压印装置的截面视图；

图2是图解说明根据本发明的压印装置中的操作关系的截面视图；

图3和4是图解说明根据本发明的平台的平面图；

图5是图解说明根据本发明改进实施例的压印装置的截面视图；以及

图6是根据本发明的压印方法的流程图。

具体实施方式

现在详细地参考本发明的示范性实施例，附图中图解说明了本发明的多个例子。只要可能，在附图中使用相同的附图标记表示相同或相似的部件。

在下文，参照附图来描述根据本发明的压印装置。

图1是图解说明根据本发明的压印装置的截面视图。图2是图解说明根据本发明的压印装置中的操作关系的截面视图。图3和4是图解说明根据本发明的平台的平面图。图5是图解说明根据本发明改进实施例的压印装置的截面视图。

参考图1，根据本发明的压印装置1包括：室单元2；平台3；安装构件4；以及第一喷射单元5。