[发明专利]电子显示装置及其制造方法及电子纸有效
| 申请号： | 201110153781.4 | 申请日： | 2011-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN102707534A | 公开（公告）日： | 2012-10-03 |
| 发明（设计）人： | 王本莲;张智钦 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/167 | 分类号： | G02F1/167;H01L27/12;H01L29/786;H01L21/77 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理事务所(普通合伙) 11270 | 代理人： | 张颖玲;程立民 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电子 显示装置 及其 制造 方法 | ||
1.一种电子显示装置，其特征在于，包括：
上基板，所述上基板上形成有上部电极；
下基板，所述下基板上形成有薄膜晶体管(TFT)，所述TFT漏极作为下部电极；
上基板与下基板之间装设有电泳液，电泳液内设有带电球。
2.根据权利要求1所述的电子显示装置，其特征在于，所述TFT漏极设置在电泳液底部一侧。
3.根据权利要求1所述的电子显示装置，其特征在于，所述电泳液内墨水为黑色，所述带电球为白色。
4.根据权利要求1所述的电子显示装置，其特征在于，所述电泳液内墨水为白色，所述带电球为黑色。
5.根据权利要求1所述的电子显示装置，其特征在于，所述电泳液内墨水为透明，所述带电球为黑色；所述下基板下面设有背光源。
6.根据权利要求1所述的电子显示装置，其特征在于，所述电泳液内墨水为透明，所述带电球为白色；所述下基板下面设有背光源。
7.一种电子显示装置的制造方法，其特征在于，该制造方法包括：
通过栅极掩模板在下基板上形成栅极和栅极扫描线；
连续沉积栅极绝缘层、有源层薄膜和欧姆接触层薄膜、以及用于形成源极和漏极的第二层金属薄膜，利用灰色调半透明掩模板形成TFT的硅岛，利用灰色调半透明掩模板和光刻胶的灰化工艺在TFT硅岛上形成源极、漏极以及TFT的沟道部分；
在上基板形成上部电极，并在上基板与下基板之间装设电泳液。
8.根据权利要求7所述的制造方法，其特征在于，
所述利用灰色调半透明掩模板形成TFT的硅岛，为：利用灰色调半透明掩模板的全透明区域形成TFT的硅岛；
所述利用灰色调半透明掩模板和光刻胶的灰化工艺在TFT硅岛上形成源极、漏极以及TFT的沟道部分，为：利用灰色调半透明掩模板的半透明区域和光刻胶的灰化工艺在TFT硅岛上形成源极、漏极以及TFT的沟道部分。
9.一种电子显示装置的制造方法，其特征在于，该制造方法包括：
通过栅极掩模板在下基板上形成栅极和栅极扫描线；
在栅极金属上连续沉积栅极绝缘层、有源层薄膜和欧姆接触层薄膜，通过半导体层掩模板形成TFT的硅岛；
通过源漏极掩模板在TFT硅岛上形成源极、漏极以及数据扫描线；
在上基板形成上部电极，并在上基板与下基板之间装设电泳液。
10.一种电子纸，其特征在于，该电子纸使用权利要求1-6中任意一项所述的电子显示装置。
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