[发明专利]键合机上的力传感器的安装结构及键合机

权利要求书

1.一种键合机上的力传感器的安装结构，其特征在于，所述安装结构用于安装力传感器，所述安装结构包括位于键合机的Z向动臂内部的与所述力传感器的相配合的嵌槽。

2.如权利要求1所述的键合机上的力传感器的安装结构，其特征在于，所述Z向动臂上开有用于安装超声波换能器的安装孔，所述嵌槽位于所述安装孔圆周方向的任意位置。

3.如权利要求1或2所述的键合机上的力传感器的安装结构，其特征在于，所述嵌槽还用于安装用于紧压所述力传感器的传感器压块，所述传感器压块是中心具有螺纹孔的圆柱形物体，所述传感器压块设置于所述力传感器的外侧。

4.如权利要求3所述的键合机上的力传感器的安装结构，其特征在于，还包括螺栓，所述螺栓依次穿过所述Z向动臂、所述力传感器、所述传感器压块，所述螺栓与所述传感器压块中心螺纹孔配合，通过所述力传感器压块将所述力传感器压紧固定于所述Z向动臂上。

5.如权利要求1所述的键合机上的力传感器的安装结构，其特征在于，所述嵌槽包括一个用于安装所述力传感器的安装平面，所述安装平面平行于所述Z向动臂与所述键合机的换能器夹持座之间的表面所在的平面。

6.一种键合机，包括Z向动臂、超声波换能器和换能器夹持座，其特征在于，所述Z向动臂内部设置有形状与力传感器的形状相配合的嵌槽，所述力传感器安装于所述嵌槽内。

7.如权利要求6所述的键合机，其特征在于，所述Z向动臂上开有用于安装所述超声波换能器的安装孔，所述嵌槽位于所述安装孔圆周方向的任意位置。

8.如权利要求6或7所述的键合机，其特征在于，所述嵌槽内还设置有用于紧压所述力传感器的传感器压块，所述传感器压块是中心具有螺纹孔的圆柱形物体，所述传感器压块设置于所述力传感器的外侧。

9.如权利要求8所述的键合机，其特征在于，还包括螺栓，所述螺栓依次穿过所述Z向动臂、所述力传感器、所述传感器压块，所述螺栓与所述传感器压块中心螺纹孔配合，通过所述力传感器压块将所述力传感器压紧固定于所述Z向动臂上。

10.如权利要求6所述的键合机，其特征在于，所述力传感器的安装面平行于所述Z向动臂与所述换能器夹持座之间的表面所在的平面，所述力传感器的安装方向平行于所述Z向动臂与所述换能器夹持座之间的表面所在的平面，所述力传感器轴线垂直于所述Z向动臂与所述换能器夹持座之间的表面所在的平面。