[发明专利]键合机上的力传感器的安装结构及键合机

说明书

技术领域

本发明涉及一种专门适用于处理半导体或固体器件的设备，特别是涉及一种键合机上的力传感器的安装结构及键合机。

背景技术

键合是把电路芯片上已金属化的电路引出端或电极与装配芯片的金属引线框架或外壳引出电极线一一对应连接起来的焊接工艺。作为键合设备的一种，键合机通过陶瓷细管(劈刀)引导金属引线(金线)在三维空间中作复杂高速的运动，形成各种满足不同封装形式需要的线弧。

键合机主要包括：XY工作平台、键合头、物料夹持台、上下料装置等部件。键合机在工作过程中，由Z向电机驱动的键合头，配合精密XY运动平台，引导金属线在三维空间作复杂高速的运动，以便形成各种满足不同芯片封装所需的线弧。键合头是其核心部件，键合头上通常安装键合力监测装置来监测、探测键合过程中健合力的大小。键合力监测装置通常包括力传感器。键合头上的力传感器，可以有效检测键合头在运动过程中的受力、加速度，配合运控算法，将会明显消除Z向运动动态误差，并改善速度、加速度跟随特性，降低趋稳时间。当键合头上的劈刀与键合面接触，接触力随着劈刀，超声波杆和一系列固定件将部分压力传到力传感器，力传感器将这一压力转化为电信号返回给控制器，控制器经过运算修正其电流输出值，从而实现对键合头压力输出的闭环控制。这将对减小到位后的过冲，改善焊点的压球质量，提高焊线质量产生明显效果。

授权公告号为CN 201364886 Y的中国实用新型专利公开了一种键合头上的安装力传感器的技术方案，上述方案是通过力传感器与夹持座的嵌槽相配合，力传感器固定于键合头的主体及夹持座之间。由于力传感器非常灵敏、易损，上述方案的力传感器在使用中非常容易受到外界干扰，致使测量结果不够精确，影响键合头工作。

发明内容

本发明的目的是提供一种安装结构紧凑、简单有效、防止力传感器在使用中受到外界干扰的键合头上的键合机上的力传感器的安装结构及键合机。

本发明的键合机上的力传感器的安装结构，所述安装结构用于安装力传感器，所述安装结构包括位于键合机的Z向动臂内部的与所述力传感器的相配合的嵌槽。

本发明的键合机上的力传感器的安装结构，其中，所述Z向动臂上开有用于安装超声波换能器的安装孔，所述嵌槽位于所述安装孔圆周方向的任意位置。

本发明的键合机上的力传感器的安装结构，其中，所述嵌槽还用于安装用于紧压所述力传感器的传感器压块，所述传感器压块是中心具有螺纹孔的圆柱形物体，所述传感器压块设置于所述力传感器的外侧。

本发明的键合机上的力传感器的安装结构，其中，还包括螺栓，所述螺栓依次穿过所述Z向动臂、所述力传感器、所述传感器压块，所述螺栓与所述传感器压块中心螺纹孔配合，通过所述力传感器压块将所述力传感器压紧固定于所述Z向动臂上。

本发明的键合机上的力传感器的安装结构，其中，所述嵌槽包括一个用于安装所述力传感器的安装平面，所述安装平面平行于所述Z向动臂与所述键合机的换能器夹持座之间的表面所在的平面。

本发明的键合机，包括Z向动臂、超声波换能器和换能器夹持座，所述Z向动臂内部设置有形状与力传感器的形状相配合的嵌槽，所述力传感器安装于所述嵌槽内。

本发明的键合机，其中，所述Z向动臂上开有用于安装超声波换能器的安装孔，所述嵌槽位于所述安装孔圆周方向的任意位置。

本发明的键合机，其中，所述嵌槽内还设置有用于紧压所述力传感器的传感器压块，所述传感器压块是中心具有螺纹孔的圆柱形物体，所述传感器压块设置于所述力传感器的外侧。

本发明的键合机，其中，还包括螺栓，所述螺栓依次穿过所述Z向动臂、所述力传感器、所述传感器压块，所述螺栓与所述传感器压块中心螺纹孔配合，通过所述力传感器压块将所述力传感器压紧固定于所述Z向动臂上。

本发明的键合机，其中，所述力传感器的安装面平行于所述Z向动臂与所述换能器夹持座之间的表面所在的平面，所述力传感器的安装方向平行于所述Z向动臂与所述换能器夹持座之间的表面所在的平面，所述力传感器轴线垂直于所述Z向动臂与所述换能器夹持座之间的表面所在的平面。

本发明的键合机上的力传感器的安装结构结构简单、易于安装，力传感器安装于Z向动臂的内部，防止力传感器在使用中受到外界干扰，测量结果更为稳定、精确。

本发明的键合机，其上的力传感器的安装结构结构简单、易于安装，力传感器安装于Z向动臂的内部，防止力传感器在使用中受到外界干扰，测量结果更为稳定、精确。

附图说明