[发明专利]用于PECVD自动装卸片系统的石墨舟小车

权利要求书

1.一种用于PECVD自动装卸片系统的石墨舟小车，其特征是，包括电动滑台（15），电动滑台（15）上端设有滑台连接板（10），并在滑台连接板（10）上端设有基板（8），基板（8）上方设有石墨舟托板（2），且石墨舟托板（2）通过连接机构与基板（8）相连，石墨舟托板（2）一端设有带动石墨舟托板（2）绕连接机构中心轴转动的摆动机构，石墨舟托板（2）另一端设有用于夹持石墨舟的夹紧机构, 所述石墨舟托板（2）上表面沿长度方向设有支撑石墨舟的石墨舟支板（3）。

2.根据权利要求1所述用于PECVD自动装卸片系统的石墨舟小车，其特征是，所述夹紧机构包括设在石墨舟托板（2）两端的左U形块（7）和右U形块（12），各U形块通过连接板（5）与石墨舟托板（2）相连，连接板（5）置于各U形块的U形凹槽内，各U形块通过U形块销（27）与连接板（5）相连，各U形块上部设有垂直于石墨舟托板（2）长度方向的转轴（26），U形块可绕转轴（26）中心转动，左U形块（7）与氮气弹簧（28）相连，该氮气弹簧（28）固定在氮气弹簧支座（9）上，氮气弹簧支座（9）通过螺栓与基板（8）相连，且螺栓穿通孔为长槽型孔。

3.根据权利要求2所述用于PECVD自动装卸片系统的石墨舟小车，其特征是，所述转轴（26）上套装有减震圈（6）。

4.根据权利要求1所述用于PECVD自动装卸片系统的石墨舟小车，其特征是，所述摆动机构包括电机（29），该电机（29）固定在电机座（11）上，电机座（11）经紧固螺栓固定在基板（8）上，所述电机（29）与转轮（13）相连并控制转轮（13）转动，还设有一连杆(14)，连杆（14）一端通过a连杆销（31）与石墨舟托板（2）端部相连，连杆（14）另一端通过b连杆销（32）与转轮（13）连接。

5.根据权利要求4所述用于PECVD自动装卸片系统的石墨舟小车，其特征是，所述与连杆（14）相连的石墨舟托板（2）端部内侧设有轴用挡圈（30）。

6.根据权利要求1所述用于PECVD自动装卸片系统的石墨舟小车，其特征是，所述连接机构包括固定在石墨舟托板（2）下端的双轴承带座轴承（24），双轴承带座轴承24两侧对称设有带座轴承（25），且双轴承带座轴承（24）与带座轴承（25）通过铰链销（21）连接，石墨舟托板（2）绕连接铰链销（21）转动，铰链销（21）外部设有弹性挡圈（22）。

7.根据权利要求6所述用于PECVD自动装卸片系统的石墨舟小车，其特征是，所述铰链销（21）上套装轴套（23）。

8.根据权利要求1所述用于PECVD自动装卸片系统的石墨舟小车，其特征是，所述石墨舟托板（2）上表面沿长度方向设有反射膜垫板（4）。

9.根据权利要求1所述用于PECVD自动装卸片系统的石墨舟小车，其特征是，石墨舟托板（2）两端端部分别固定有卡块（1）。

10.根据权利要求1所述用于PECVD自动装卸片系统的石墨舟小车，其特征是，所述石墨舟托板（2）可绕连接机构中心轴向两侧摆动15度。