[发明专利]用于PECVD自动装卸片系统的石墨舟小车

说明书

技术领域

本发明涉及太阳能硅电池片生产领域，是一种适用于等离子体增强化学气相沉积法（PECVD）自动装卸片系统的石墨舟小车。。

背景技术

PECVD自动装卸片系统包括石墨舟小车、机械手拾取器、校正架、中转片盒升降机构，进出片盒升降机构、进出片盒输送机构、计算机自动控制系统，对于PECVD自动装卸片系统的石墨舟小车的研究，国内外相关内容不多，国内未见相关记录。在PECVD自动装卸片的过程中，石墨舟小车移动位置不准确，夹紧机构施加力度太大或者变化，摆动机构运动不平稳，都会影响机械手取放片的准确性和可靠性，有可能造成电池片碎片。不仅给生产厂家造成损失,严重的时候影响生产率，使PECVD自动装卸片系统不能顺利实施。

发明内容

本发明的目的在于针对现有技术的不足，提出一种用于PECVD自动装卸片系统的石墨舟小车，可以较大幅度降低碎片率，以及提高自动装卸片生产效率。

本发明的技术方案为：一种用于PECVD自动装卸片系统的石墨舟小车，其特征是，包括电动滑台，电动滑台上端设有滑台连接板，并在滑台连接板上端设有基板，基板上方设有石墨舟托板，且石墨舟托板通过连接机构与基板相连，石墨舟托板一端设有带动石墨舟托板绕连接机构中心轴转动的摆动机构，石墨舟托板另一端设有用于夹持石墨舟的夹紧机构, 所述石墨舟托板上表面沿长度方向设有支撑石墨舟的石墨舟支板。

以下对本发明作进一步描述。

进一步地，所述夹紧机构包括设在石墨舟托板2两端的左U形块7和右U形块12，各U形块通过连接板5与石墨舟托板2相连，连接板5置于各U形块的U形凹槽内，各U形块通过U形块销27与连接板5相连，各U形块上部设有垂直于石墨舟托板2长度方向的转轴26，U形块可绕转轴26中心转动，左U形块7与氮气弹簧28相连，该氮气弹簧28固定在氮气弹簧支座9上，氮气弹簧支座9通过螺栓与基板8相连，且螺栓穿通孔为长槽型孔。

进一步地，所述转轴上套装有减震圈。

进一步地，所述摆动机构包括电机，该电机固定在电机座上，电机座经紧固螺栓固定在基板上，所述电机与转轮相连并控制转轮转动，还设有一连杆，连杆一端通过a连杆销与石墨舟托板端部相连，连杆另一端通过b连杆销与转轮连接。

进一步地，所述与连杆相连的石墨舟托板端部内侧设有轴用挡圈。

进一步地，所述连接机构包括固定在石墨舟托板下端的双轴承带座轴承，双轴承带座轴承两侧对称设有带座轴承，且双轴承带座轴承与带座轴承通过铰链销连接，石墨舟托板绕连接铰链销转动，铰链销外部设有弹性挡圈。

进一步地，所述铰链销上套装轴套。

进一步地，所述石墨舟托板上表面沿长度方向设有反射膜垫板。

进一步地，石墨舟托板两端端部分别固定有卡块。

进一步地，所述石墨舟托板可绕连接机构中心轴向两侧摆动15度。

本发明的技术原理是：采用氮气弹簧的氮气反作用力驱动左U型块摆动，左U型块上的减震圈夹紧石墨舟，使石墨舟下降顶开减震圈过程中夹紧力不会因顶开距离不同而变化，恒力柔性夹持石墨舟可靠无冲击，电动滑台将石墨舟从PECVD上下料位直线移动到自动装卸片位，直线运动刚性好重复精度高，电机加转轮和连杆的驱动方式,驱动石墨舟托板垂直方向摆动，摆动平稳无抖动，从而减少电池片的碎片。

本发明采用电动滑台将石墨舟从PECVD上下料位直线移动到自动装卸片位，直线运动刚性好重复精度高，电机加转轮和连杆的驱动方式,驱动石墨舟托板垂直方向摆动，摆动平稳无抖动，从而减少电池片的碎片。石墨舟小车基板在PECVD上下料位时，托板处于水平位置，PECVD上下料机械手将石墨舟往托板上放的过程中，首先石墨舟两端与减震圈接触自动顶开减震圈，氮气弹簧夹紧石墨舟，放到石墨舟底面与石墨舟支板上表面接触后，上下料机械手离开了石墨舟然后移出，滑台直线移动基板到自动装卸片位，电机驱动托板摆动正15度，机械手拾取器分批将石墨舟一面的电池片吸取校正后放到出片中转盒，将进片中转盒的电池片吸取较正后放进石墨舟，然后电机驱动托板摆动负15度，机械手拾取器分批将石墨舟另一面的电池片吸取校正后放到出片中转盒，将进片中转盒的电池片吸取较正后放进石墨舟，石墨舟双面的电池片装好后，电机驱动托板摆动到水平位，滑台移动基板到PECVD上下料位，PECVD上下料机械手将石墨舟提出，减震圈回到未夹石墨舟位。