[发明专利]一种微光学元件的粘接方法

权利要求书

1.一种微光学元件的粘接方法，其特征在于:首先在连接元件（302）上将要和微光学元件（301）粘接的位置处，加工出一个或多个尺寸小于微光学元件（301）的空穴（305），在连接元件（302）空穴（305）中心位置加工出对应的通气孔（306），将通气孔（306）和抽气管（303）相连接；然后连接元件（302）待粘接位置涂抹使用的胶或焊锡（304）后把微光学元件（301）放到连接元件（302）待粘接的位置上；最后打开真空泵，通过抽气管（303）把空穴（305）和通气孔（306）中的空气抽走，调整微光学元件（301）到合适的位置，进行固化，即完成微光学件（301）的粘接。

2.根据权利要求1所述的一种微光学元件的粘接方法，其特征在于：所述的微光学元件（301）为平面反射镜、空气隙或固体腔标准具、直角棱镜。

3.根据权利要求1所述的一种微光学元件的粘接方法，其特征在于：所述的空穴（305）和通气孔（306）为一组或多组阵列的形式。