[发明专利]用于加载或卸载基板的基板处理装置

权利要求书

1.一种基板处理装置，用于在托盘上加载或卸载多个基板，其特征在于，包括：

托盘搬运部，托盘位于其上，用于搬运所述托盘；

基板加载传送部，需要供给至所述托盘的基板在该基板加载传送部被排成一列；

基板卸载传送部，需要从所述托盘搬出的基板在该基板卸载传送部被排成一列；

第一基板搬运机械手，拾取在所述基板加载传送部待机中的基板，并搬运到位于所述托盘搬运部上的所述托盘；以及

第二基板搬运机械手，从位于所述托盘搬运部的所述托盘上拾取基板，并搬运到所述基板卸载传送部。

2.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，所述第一基板搬运机械手包括：

一对移送导轨，设置在所述托盘搬运部的上部的两侧；

移动框架，被设置成能够沿着所述移送导轨移动；以及

吸盘单元，设置在所述移动框架上，并用于固持基板。

3.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，所述第二基板搬运机械手包括：

一对移送导轨，设置在所述托盘搬运部的上部的两侧；

移动框架，被设置成能够沿着所述移送导轨移动；以及

吸盘单元，设置在所述移动框架上，并用于固持基板。

4.根据权利要求2或者3所述的基板处理装置，其特征在于，所述吸盘单元包括：

支撑框架，设置有多个伯努利吸盘，该多个伯努利吸盘以非接触状态固持基板的上面；以及

升降驱动部，使所述支撑框架升降。

5.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，所述托盘搬运部包括：

上层搬运辊部，与托盘的搬运方向平行地设置在两侧；

下层搬运辊部，位于所述上层搬运辊部的下方，并与托盘的搬运方向平行地设置在两侧；

托盘升降部，将放置在所述下层搬运辊部上的托盘提升到上层；以及

开放驱动部，移动所述上层搬运辊部，从而提供足够空间使托盘通过所述托盘升降部进行上升移动。

6.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，还包括：

第一储运盒升降机，用于放置装载有基板的储运盒，并使储运盒升降；以及

基板搬出部，从放置在所述第一储运盒升降机上的储运盒中取出基板，并提供给所述基板加载传送部。

7.根据权利要求6所述的基板处理装置，其特征在于，还包括二层结构的储运盒加载传送部，所述储运盒加载传送部包括：

上层传送带，将装载有基板的储运盒提供给所述第一储运盒升降机；及

下层传送带，从所述第一储运盒升降机接收空的储运盒。

8.根据权利要求6所述的基板处理装置，其特征在于，所述基板搬出部包括：

底板，具有用于放置基板的基板支撑柱；

末端执行器，从放置在所述第一储运盒升降机上的储运盒中取出基板；以及

基板移位模块，其具有相互对称地一体形成的第一安放部和第二安放部，所述第一安放部从所述末端执行器接住基板并移送至所述基板支撑柱上，所述第二安放部将由所述基板支撑柱支撑的基板移送到所述基板加载传送部。

9.根据权利要求8所述的基板处理装置，其特征在于，

所述末端执行器通过液压缸单元在前后方向上进行前进动作和后退动作，在其一端上具有能够真空吸附基板的真空吸附部。

10.根据权利要求6所述的基板处理装置，其特征在于，

所述第一储运盒升降机、所述基板搬出部以及所述基板加载传送部配置在同一直线上。

11.根据权利要求6所述的基板处理装置，其特征在于，所述基板搬出部包括：

底板；位于所述第一储运盒升降机与所述基板加载传送部之间，并具有支撑基板底面的基板支撑柱；

末端执行器，设置在所述底板上，并从放置在所述第一储运盒升降机上的储运盒中取出基板；以及

基板移位模块，其以使所述基板支撑柱和所述末端执行器位于内侧的方式设置在所述底板上，并且在前后方向开放以避免和所述末端执行器及所述基板支撑柱发生冲突，而且具有相互对称地构成的第一安放部和第二安放部，所述第一安放部从所述末端执行器接住基板并移送到所述基板支撑柱上，所述第二安放部将由所述基板支撑柱支撑的基板移送到所述基板加载传送部。