[发明专利]用于加载或卸载基板的基板处理装置

说明书

技术领域

本发明涉及大量处理如太阳能电池基板的基板处理设备，更具体地说，涉及到将基板装载在托盘上的基板处理装置。

背景技术

最近，随着对环境问题和能源枯竭的关注度提高，对作为能源资源丰富、不污染环境、且能源效率高的替代能源的太阳能电池的关注度逐渐提高。

太阳能电池可分为太阳热电池和太阳光电池，所述太阳热电池利用太阳热产生旋转涡轮机所需的蒸汽，所述太阳光电池利用半导体的特性将太阳光(photons)转换成电能。其中，对通过吸收光来产生电子和空穴，从而将光能转化成电能的太阳光电池(下面称之为太阳能电池)的研究正积极进行。

因此，为了制造太阳能电池，需要进行在硅片等基板上蒸镀P型或N型半导体层、防反射膜、电极等薄膜的工艺，为了处理大量的太阳能电池，这些在太阳能电池蒸镀薄膜的装置上，使用了作为安放单元的托盘。

但是，这种以往的用于制造太阳能电池的基板处理装置，由于在托盘上加载/卸载大量的太阳能电池的作业时间较长等工作效率低引起的单件产品生产时间增加，从而存在生产率下降的问题。

发明内容

本发明的目的在于，提供一种能够缩短在托盘上加载/卸载太阳能电池的作业时间的基板处理装置。

另外，本发明的目的在于，提供一种能够提高生产率的基板处理装置。

为了解决所述问题，本发明涉及的用于在托盘上加载或卸载多个基板的基板处理装置，其包括：托盘搬运部，托盘位于其上，用于搬运该托盘；基板加载传送部，要供给至所述托盘的基板在该基板加载传送部被排成一列；基板卸载传送部，要从所述托盘搬出的基板在该基板卸载传送部被排成一列；第一基板搬运机械手，拾取在所述基板加载传送部待机中的基板，并搬运到位于所述托盘搬运部上的所述托盘；以及第二基板搬运机械手，从位于所述托盘搬运部的所述托盘上拾取基板，并搬运到所述基板卸载传送部。

根据本发明的一实施例，所述基板加载传送部和所述基板卸载传送部相互对称地配置在所述托盘搬运部的两侧。

根据本发明能够缩短将太阳能电池加载/卸载在托盘上的作业时间，从而可提高生产率。

附图说明

图1是本发明一实施例涉及的太阳能电池用PECVD设备的框图。

图2是图1所示的加载/卸载装置的俯视图。

图3是用于说明储运盒加载传送部的示意图。

图4a是用于说明基板搬出部的示意图。

图4b是按步骤说明在基板搬出部中的基板搬出过程的示意图。

图5是用于说明第一基板搬运机械手的结构的示意图。

图6a至6e是按步骤表示从下层的搬运辊部向上层的搬运辊部移动托盘的示意图。

图7是表示本发明的加载/卸载装置的变形例的俯视图。

附图标记：

100a：储运盒加载传送部

200a：第一储运盒升降机

300a：基板搬出部

400a：基板加载传送部

500a：第一基板搬运机械手

600：托盘搬运部

具体实施方式

下面，参照附图详细说明本发明的优选实施例。如上所述的本发明所要解决的问题、问题的解决方法及效果，可通过附图及相关实施例容易理解。

为了明确说明本发明，在各附图中，一部分被简略或夸张图示。对各附图的构成要素赋予附图标记时，虽然相同构成要素图示在不同附图中，但赋予了相同的附图标记。而且，对本发明进行说明时，认为对有关已知结构或功能的详细说明可能混淆本发明的旨意的情况下，省略了该详细说明。

图1是本发明的一实施例涉及的太阳能电池用PECVD设备的框图，图2是图1所示的加载/卸载装置的俯视图。

参照图1及图2，太阳能电池用PECVD设备1用于对太阳能电池用基板S(下面称之为基板)进行PECVD处理工艺，其包括：加载/卸载装置10；样品加载腔20以及工艺腔30。

本发明为了提高生产率，一同处理多个基板S，为此，使用能够安放数十至数百张基板S的托盘90。即，将安放有多个基板S的托盘90经由样品加载腔20搬入到工艺腔30的内部，并在基板S被放置在托盘90上的状态下，进行工艺。