[发明专利]一种紫外光探测器有效
申请号: | 201110165546.9 | 申请日: | 2011-06-20 |
公开(公告)号: | CN102231403A | 公开(公告)日: | 2011-11-02 |
发明(设计)人: | 赵昆;赵赛赛;赵嵩卿;达世炼 | 申请(专利权)人: | 中国石油大学(北京) |
主分类号: | H01L31/09 | 分类号: | H01L31/09;H01L31/0224;H01L31/032 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 紫外光 探测器 | ||
技术领域
本发明涉及高温光探测器技术领域,特别是涉及一种可以运用在各个领域紫外光下稳定的具有新型电极结构的高温探测器,具体的讲是涉及了一种利用直接在斜切基底上生长的薄膜LaxCa1-xMnO3所制作的、在高温下稳定的快速响应紫外光探测器。
背景技术
在我国油田测井中,由于井下恶劣的环境诸如高温、高压、腐蚀,使得耐高温探测器制作的成本很高。目前,人们已经发明了适用于高温下的热释电的红外探测器,但是由于其材料自身的局限性,这种探测器很难在高温稳定地运行,响应时间多为毫秒级,再加上一般的探测器只能在温度范围不高的环境下进行测量而且光响应速度慢的缺陷,所以人们一直在探索一种能够在高温下稳定的快速响应紫外光探测器。
LaxCa1-xMnO3具有铁电、超导、介电、庞磁电阻、热释电、压电、声光、以及非线性光学等十分丰富的物理性质。长久以来,人们一直都在研究LaxCa1-xMnO3的基本性质和制作方法。如文献1:中国专利,专利申请号:200610001065.3,镧钙锰氧薄膜的制备方法;文献2:中国专利,专利申请号:200810117615.7,一种低场超大磁致电阻锰氧化物外延膜及其制备方法;文献3:中国专利,专利ZL200410074668.7,一种具有超快响应紫外到近红外的激光探测器件;文献4:Gloria Subías,Joaquín García,Javier Blasco et al。“Mnlocal structure effects in charge-ordered mixed-valence RE1-xCaxMnO3(RE:La,Tb)perovskites:a review of the experimental situation。”JOURNAL OF PHYSICS:CONDENSED MATTER 14(2002)5017-5033,这篇文献中虽然将温度加热到了327度,但是仅仅研究了Mn-O和Mn-O-Mn键角对化合物自身电和磁性质的影响,迄今为止还没有发现把LaxCa1-xMnO3作为高温探测器的报道。
发明内容
有鉴于上述,为了克服当前高温探测器的制作成本高以及一般的探测器只能在温度范围不高的环境下进行测量而且光响应速度慢的缺陷,发明的目的在于提供一种紫外光探测器,该紫外光探测器是一种利用直接在斜切基底上生长的LaxCa1-xMnO3(x=0-1)薄膜而制作的、在高温下稳定的具有新型电极结构的快速响应紫外光探测器。
所述的紫外光探测器包括:
斜切基底;
在所述斜切基底的一面上生长LaxCa1-xMnO3薄膜;
第一金属薄膜电极和第二金属薄膜电极,分别生长在所述LaxCa1-xMnO3薄膜的两端;
第三金属薄膜电极,位于所述第一金属薄膜电极和所述第二金属薄膜电极之间,且生长在所述LaxCa1-xMnO3薄膜上;
第一电极引线、第二电极引线和第三电极引线的各自输入端,分别连接于所述第一金属薄膜电极、所述第二金属薄膜电极和所述第三金属薄膜电极上;
所述第一电极引线、所述第二电极引线和所述第三电极引线的各自输出端,分别连接于电压测试设备,其中,所述第一电极引线、所述第二电极引线的各自输出端连接于所述电压测试设备的负极,所述第三电极引线的各自输出端连接于所述电压测试设备的正极。
所述第一电极引线、所述第二电极引线和所述第三电极引线的外部被陶瓷管所包裹。
所述第一金属薄膜电极、第二金属薄膜电极和所述第三金属薄膜电极为耐高温薄膜电极。
所述第一电极引线、所述第二电极引线和所述第三电极引线为耐高温电极引线。
所述第三电极被紫外脉冲激光照射。
所述斜切基底的材料包括:硅、氧化镁、铝酸镧、钛酸锶、铌酸锂、钛酸铅。
所述斜切基底的斜切角度为0°-45°。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的