[发明专利]电泳沉积装置及电泳沉积方法

权利要求书

1. 一种电泳沉积方法，其特征在于，包括：

提供一电泳槽，该电泳槽承装一电泳液；

提供一阳极基板以及一阴极基板，该阳极基板包括至少一阳极电极，且该阴极基板包括至少一阴极电极；

将该阳极基板与该阴极基板浸泡于该电泳液中，其中该阳极基板与该阴极基板是相对设置于该电泳槽中；

调整该阳极基板与该阴极基板的相对位置，使得该阳极基板上各区域与相对应的该阴极基板上各区域间具有不相等的距离；以及

分别输入阳极电压与阴极电压至该至少一阳极电极与该至少一阴极电极，以进行一电泳沉积。

2. 如权利要求1所述的电泳沉积方法，其特征在于，其中该阴极基板的一第一阴极区与该阳极基板的一第一阳极区相对设置，该阴极基板的一第二阴极区与该阳极基板的一第二阳极区相对设置，该至少一阴极电极由于压降使得该第二阴极区的该阴极电极的电压小于该第一阴极区的该阴极电极的电压，且该第二阴极区与该第二阳极区之间的距离小于该第一阴极区与该第一阳极区之间的距离。

3. 一种电泳沉积方法，其特征在于，包括：

提供一电泳槽，该电泳槽承装一电泳液；

提供一阳极基板以及一阴极基板，该阳极基板包括复数个阳极电极，且该阴极基板包括至少一阴极电极；

将该阳极基板与该阴极基板浸泡于该电泳液中，其中该阳极基板与该阴极基板是互相平行设置于该电泳槽中；以及

输入一阴极电压至该至少一阴极电极，以及分别输入不同的阳极电压至各该阳极电极，以进行一电泳沉积。

4. 如权利要求3所述的电泳沉积方法，其特征在于，其中该阴极基板的一第一阴极区与该阳极基板的一第一阳极区相对设置，该阴极基板的一第二阴极区与该阳极基板的一第二阳极区相对设置，该阴极电极由于压降使得该第二阴极区的该阴极电极的电压小于该第一阴极区的该阴极电极的电压，且该第二阳极区的该阳极电极的电压大于该第一阳极区的该阳极电极的电压。

5. 一种电泳沉积装置，其特征在于，包括：

一电源装置，该电源装置包括一阳极端以及一阴极端；

一电泳槽，用以容纳一电泳液；

一阴极基板，设置于该电泳槽中，该阴极基板包括至少一阴极电极，与该电源装置的该阴极端电性连结；以及

一阳极基板，设置于该电泳槽中且对应于该阴极基板，该阳极基板包括至少一阳极电极，与该电源装置的该阳极端电性连结，其中该阳极基板是以一相对倾斜于该阴极基板的方式设置，使得该阳极基板上各区域与相对应的该阴极基板上各区域间具有不相等的距离。

6. 如权利要求5 所述的电泳沉积装置，其特征在于，其中该阴极基板包括一第一阴极区对应于该阳极基板的一第一阳极区，该阴极基板包括一第二阴极区对应于该阳极基板的一第二阳极区，该至少一阴极电极由于压降使得该第二阴极区的该阴极电极的电压小于该第一阴极区的该阴极电极的电压，且该第二阴极区与该第二阳极区之间的距离小于该第一阴极区与该第一阳极区之间的距离。

7. 一种电泳沉积装置，其特征在于，包括：

一电源装置，该电源装置包括复数个阳极端以及一阴极端；

一电泳槽，用以容纳一电泳液；

一阴极基板，设置于该电泳槽中，该阴极基板包括至少一阴极电极，与该电源装置的该阴极端电性连结；以及

一阳极基板，与该阴极基板互相平行设置于该电泳槽中，该阳极基板包括复数个阳极电极分别与该电源装置的该等阳极端电性连结；

其中各该阳极端是用以分别提供不同的阳极电压至各该阳极电极，且该阴极端是用以提供一阴极电压至该阴极电极。

8. 如权利要求7所述的电泳沉积装置，其特征在于，其中该阴极基板包括一第一阴极区对应于该阳极基板的一第一阳极区，该阴极基板包括一第二阴极区对应于该阳极基板的一第二阳极区，该至少一阴极电极由于压降使得该第二阴极区的该阴极电极的电压小于该第一阴极区的该阴极电极的电压，且该第二阳极区的该阳极电极的电压大于该第一阳极区的该阳极电极的电压。

9. 如权利要求7所述的电泳沉积装置，其特征在于，其中该等阳极电极是彼此平行设置。