[发明专利]电泳沉积装置及电泳沉积方法

说明书

技术领域

本发明是关于一种电泳沉积方法及其装置，尤指一种于电极的电压分布不均状况下可维持电泳沉积均匀性的电泳沉积方法及其装置。

背景技术

电泳(Electrophoresis)是一藉由悬浮液中的带电荷粒子于电场作用下，产生朝向与其相反电性的电性极板移动的现象。利用电泳现象，可使悬浮液中的带电荷粒子将一材料于电极板上凝聚成一紧密堆积的镀层，达到电泳沉积的效果。

 

电泳沉积法可利用于涂料、金属氧化物以及荧光粉体等多种材料的沉积。而近年来奈米碳管的相关技术及应用开发蓬勃发展，因此亦有将电泳沉积法应用于奈米碳管的沉积方法上。然而，由于电泳沉积是利用两电极对电泳液形成电场来引发电泳现象，故当电极的图案变大或线形电极的长宽比变大时，电极上与电源接触端及远离电源端之间所呈现的电压差距将会明显拉大，影响到电极上各区域形成的电场强度的均匀性，进而对电泳沉积时于电极上各区域的沉积速率一致化有所不利。当电泳沉积法应用于大尺寸显示器的成膜制程时(例如奈米碳管及荧光粉体的沉积)，此不均匀现象会严重影响成品的显示质量及良率，故需要就此进行改善。

发明内容

本发明的主要目的之一在于提供一种电泳沉积方法及其装置，以改善因电极形状及大小使得电压分布不均，进而导致电泳沉积均匀性不佳的状况。

为达上述目的，本发明的一较佳实施例提供一种电泳沉积方法，上述电泳沉积方法包括下列步骤。首先，提供一电泳槽、一阳极基板以及一阴极基板。电泳槽承装一电泳液，阳极基板包括至少一阳极电极，而阴极基板包括至少一阴极电极。接着，将阳极基板与阴极基板浸泡于电泳液中，其中阳极基板与阴极基板是相对设置于电泳槽中。然后，调整阳极基板与阴极基板的相对位置，使得阳极基板上各区域与相对应的阴极基板上各区域间具有不相等的距离。之后，分别输入阳极电压与阴极电压至至少一阳极电极与至少一阴极电极，以进行一电泳沉积。

为达上述目的，本发明的另一较佳实施例提供一种电泳沉积方法，上述电泳沉积方法包括下列步骤。首先，提供一电泳槽、一阳极基板以及一阴极基板。电泳槽承装一电泳液，阳极基板包括复数个阳极电极，而阴极基板包括至少一阴极电极。接着，将阳极基板与阴极基板浸泡于电泳液中，其中阳极基板与阴极基板是互相平行设置于电泳槽中。然后，输入一阴极电压至阴极电极，且分别输入不同的阳极电压至各阳极电极以进行一电泳沉积。

为达上述目的，本发明的又一较佳实施例提供一种电泳沉积装置，上述电泳沉积装置包括一电源装置、一电泳槽、一阴极基板以及一阳极基板。电源装置包括一阳极端以及一阴极端。电泳槽是用以容纳一电泳液。阴极基板是设置于电泳槽中，阴极基板包括至少一阴极电极，且阴极电极是与电源装置的阴极端电性连结。阳极基板是设置于电泳槽中且对应于阴极基板。阳极基板包括至少一阳极电极，且阳极电极是与电源装置的阳极端电性连结。阳极基板是以一相对倾斜于阴极基板的方式设置，使得阳极基板上各区域与相对应的阴极基板上各区域间具有不相等的距离。

为达上述目的，本发明的再一较佳实施例提供一种电泳沉积装置，上述电泳沉积装置包括一电源装置、一电泳槽、一阴极基板以及一阳极基板。电源装置包括复数个阳极端以及一阴极端。电泳槽是用以容纳一电泳液。阴极基板是设置于电泳槽中，且阴极基板包括至少一阴极电极，阴极电极是与电源装置的阴极端电性连结。阳极基板是与阴极基板互相平行设置于电泳槽中。阳极基板包括复数个阳极电极分别与电源装置的各阳极端电性连结。各阳极端是用以分别提供不同的阳极电压至各阳极电极，且阴极端是用以提供一阴极电压至阴极电极。

在本发明中，利用调整电极板之间的距离分布以及利用复数个阳极电极提供电压分布补偿，使得原先因阴极电极的形状或大小导致阴极基板上电压分布不均，进而影响电泳沉积速率均匀性的问题得以有效地改善。

附图说明

图1绘示了本发明的一较佳实施例的电泳沉积装置的侧视示意图。

图2绘示了本发明的一较佳实施例的电泳沉积装置的立体示意图。

图3绘示了本发明的另一较佳实施例的电泳沉积装置的阴极基板示意图。

图4绘示了本发明的又一较佳实施例的电泳沉积装置的侧视示意图。

图5绘示了本发明的又一较佳实施例的电泳沉积装置的立体示意图。

图6绘示了本发明的又一较佳实施例的电泳沉积装置的阳极基板示意图。

 

  【主要组件符号说明】