[发明专利]一种单晶炉副室提升操作的自动保护方法

权利要求书

1.一种单晶炉副室提升操作的自动保护方法，其特征在于：在副室提升开关的行程开关上串联一个电接点压力表，该电接点压力表的测量值为单晶炉副室的压力值；

电接点压力表上设置一个低于大气压值的阈值，使得在实测炉压小于这个阈值时，控制副室提升的线路一直处于断开状态，大于或等于这个阈值时，提升副室的操作被执行。

2.根据权利要求1所述的单晶炉副室提升操作的自动保护方法，其特征在于：所述的副室提升开关的控制线路结构是，包括电接点压力表(1)，电接点压力表(1)与副室上限位开关K1、副室下限位开关K2、继电器(3)、炉压报警装置(2)、拉升腔提升/下降手动按钮K3依次串联，继电器(3)另与副室提升电机(4)连接。

3.根据权利要求1所述的单晶炉副室提升操作的自动保护方法，其特征在于：所述的电接点压力表(1)的技术参数设置为，接口为M20×1.5；测量范围为-0.1～0.3MPa；

在电接点压力表(1)的压力表盘上分别设置指针一(5)、指针二(6)、指针三(7)，其中的指针一(5)为正常的指针测量位置，所指示的为单晶炉副室的实际测量压力值；指针二(6)的指示值人为设定，当实测值小于此指针指示值时，输出线路闭合；指针三(7)的指示值人为设定，当实测值大于此指针指示值时，输出线路闭合。