[发明专利]一种单晶炉副室提升操作的自动保护方法

说明书

技术领域

本发明属于单晶硅制造控制技术领域，涉及一种单晶炉副室提升操作的自动保护方法。

背景技术

单晶生长需要高温低压的特殊环境，炉壁通循环的冷却水将单晶炉和外界环境隔离起来，在剪渣盖和加掺杂等操作过程中需要将单晶炉的副室和主室隔离。隔离前，副室须充到大气压，由于主室中有液态硅，所以需保持高温低压的状态，并且在存在熔硅的状态下，不能和外界接触。隔离之前的准备工序是否到位需要操作工人为检查，因操作不当或检查不到位而引发生产事故的情况时有发生。

从理论上讲，现用副室提升开关的设计思路并无问题，但实际操作过程中发现原有线路的炉压报警装置存在着缺陷：1)单纯的人为检查过程必定存在着漏洞，尤其是倒班的一线员工在上夜班时可能会比较累，使人为因素导致的误操作无法完全避免。2)报警装置虽能报警，但报警的同时误操作已经开始执行，而这样的误操作瞬间即可造成严重的生产事故，这个时间段远远短于操作工的反应时间。

发明内容

本发明的目的是提供一种单晶炉副室提升操作的自动保护方法，解决了现有技术中存在人为因素导致误操作的问题。

本发明所采用的技术方案是，一种单晶炉副室提升操作的自动保护方法，在副室提升开关的行程开关上串联一个电接点压力表，该电接点压力表的测量值为单晶炉副室的压力值；

电接点压力表上设置一个低于大气压值的阈值，使得在实测炉压小于这个阈值时，控制副室提升的线路一直处于断开状态，大于或等于这个阈值时，提升副室的操作被执行。

本发明的单晶炉副室提升操作的自动保护方法，其特征还在于：

所述的副室提升开关的控制线路结构是，包括电接点压力表，电接点压力表与副室上限位开关K1、副室下限位开关K2、继电器、炉压报警装置、拉升腔提升/下降手动按钮K3依次串联，继电器另与副室提升电机连接。

所述的电接点压力表的技术参数设置为，接口为M20×1.5；测量范围为-0.1～0.3MPa；在电接点压力表的压力表盘上分别设置指针一、指针二、指针三，其中的指针一为正常的指针测量位置，所指示的为单晶炉副室的实际测量压力值；指针二的指示值人为设定，当实测值小于此指针指示值时，输出线路闭合；指针三的指示值人为设定，当实测值大于此指针指示值时，输出线路闭合。

本发明的有益效果是，在副室提升开关线路上串联一个电接点压力表，使在副室炉压未达到大气压的状态下，无法提升副室，从而杜绝了由于误提起副室而引发的生产事故，提高了生产设备的自动化程度和智能化程度，保证了一线员工的人身安全和设备安全。

附图说明

图1是本发明方法中的副室提升开关的线路连接示意图；

图2是本发明方法中的电接点压力表的三个指针的设置示意图；

图3是本发明方法中使用的电接点压力表内部局部工作原理图。

图中，1.电接点压力表，2.炉压报警装置，3.继电器，4.副室提升电机，5.指针一，6.指针二，7.指针三，8.外部线路，9.线圈一，10.磁铁，11.保护电阻；

另外，K1为副室上限位开关、K2为副室下限位开关、K3为拉升腔提升/下降手动按钮。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本发明进行详细说明。

本发明的单晶炉副室提升操作的自动保护方法是，依据现用单晶炉的特点，在副室提升开关的行程开关上串联一个电接点压力表，该电接点压力表的测量值为单晶炉副室的压力值；电接点压力表上设置一个稍低于大气压值的阈值，使得在实测炉压小于这个阈值时，控制副室提升的线路一直处于断开状态，大于或等于这个阈值时，提升副室的操作才能被执行。这样的改进可以使液态硅和外界完全保持隔离的状态。

如图1，本发明副室提升开关的控制线路结构是，包括电接点压力表1，电接点压力表1与副室上限位开关K1、副室下限位开关K2、继电器3、炉压报警装置2、拉升腔提升/下降手动按钮K3依次串联，继电器3另与副室提升电机4连接。电接点压力表1用于测量及判断副室炉压，炉压报警装置2用于测量及判断主室炉压。

本发明方法完全避免了误提起副室的不当操作，使设备更加人性化，更加安全；串联的电接点压力表能起到防呆的作用，使炉压在未达到大气压的状态下，开关线路一直处于断开状态。整体线路保留了报警装置，在未做好准备工作的条件下，误提起副室的操作会引发警报，但实际上误操作并不会被执行。