[发明专利]紫外光固设备及紫外光固设备报警方法有效
| 申请号： | 201110172459.6 | 申请日： | 2011-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN102231047A | 公开（公告）日： | 2011-11-02 |
| 发明（设计）人： | 王旭东;施海铭;巴文林;徐立 | 申请（专利权）人： | 上海宏力半导体制造有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G08B21/20 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 骆苏华 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 紫外光 设备 报警 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种紫外光固设备，包括：
腔室；
位于腔室内的紫外线发生装置；
与所述紫外线发生装置相对的衬底载盘；
位于所述衬底载盘底部的水冷却装置；
其特征在于，还包括：
用于探测所述腔室内湿度的湿度传感器，当所述腔室湿度大于设定值，湿度传感器报警。
2.如权利要求1所述的紫外光固设备，其特征在于，所述设定值为大于外界环境湿度的30％。
3.如权利要求2所述的紫外光固设备，其特征在于，所述设定值为大于外界环境湿度的60％。
4.如权利要求1所述的紫外光固设备，其特征在于，所述湿度传感器设置在腔室内或设置于排气管道内。
5.如权利要求1所述的紫外光固设备，其特征在于，还包括：湿度警报设备。
6.如权利要求1所述的紫外光固设备，其特征在于，还包括：紫外光固设备的警报设备。
7.一种紫外光固设备报警方法，其特征在于，包括：
提供紫外光固设备，所述紫外光固设备具有用于探测所述腔室内湿度的湿度传感器；
采用所述紫外光固设备进行固化工艺；
当所述腔室内湿度大于外界环境湿度的30％时，警报系统报警。
8.如权利要求7所述的紫外光固设备报警方法，其特征在于，所述警报系统包括湿度警报设备或/和紫外光固设备的警报设备。
9.如权利要求7所述的紫外光固设备报警方法，其特征在于，所述湿度传感器设置在腔室内或设置于排气管道内。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海宏力半导体制造有限公司，未经上海宏力半导体制造有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201110172459.6/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
